中古 TRIKON Sigma 200 #9311777 を販売中

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ID: 9311777
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1990
Sputtering system, 6" (2) Load locks: VCE A, VCE B Turbo pump, 8" Hot Sputter Etch (HSE) chamber (2) Deposition chambers: Ti / TiN, Al (2) PVD Chambers (3) Cryo compressors (8200 Type) Triple rack for RF power supply Turbo controller Dealer controller Main computer (CTC) Data logger computer AC Tray Rack controller Platen heater controller Half height rack for DC power supply Operating system: FlexOS Electrical cables Power box Cryolines Does not include: Mechanical pump RGA Controller.
TRIKON Sigma 200は、中規模プロセス開発用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。高精度の性能とレーザー光学は、精密なエッチングとアッシングを可能にし、最適な結果を得ることができます。直感的で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスによって制御される6軸ロボットマニピュレータの一貫した装置。過酷な条件に耐えるように設計されたシステムの特徴は堅牢な構造で、信頼性の高い動作と精度を保証します。Sigma 200は最先端の設計を提供し、ガラス、金属、セラミックス、液晶ポリマーなどの様々な材料をエッチングおよびアッシングすることができます。そのアブレーションプロセスは、UV、 IR、 YAGなど、さまざまなレーザーを採用しています。対称チャンバー設計は、優れた均一性を持つ再現可能な中規模プロセスのために許容されます。その30cm x 30cm x 30cmチャンバーサイズは完璧なformediumスケールのプロセス開発です。これは、エッチングとアッシングのための乾燥した湿った環境を提供し、より良い材料制御とより高い成功率を可能にします。その動的な温度制御は、高速でもそれがうまく実行することができます。シグマ200は、0。05〜5。00 mmの範囲のフィーチャーサイズの正確なエッチングを許容して、加工されているデバイスに誘電マスクのサイズを適応させるために調整することができます。高精度ミラーユニットにより、プロセスパラメータの再現性に優れ、各プロセスステップに必要な光子の正確な量を提供します。3Dイメージスキャナとアライメントシステムにより、最大0。5 mのアライメントとアライメント精度を高速化します。また、破片除去機を装備しているため、処理工程における粒子の蓄積を防ぎ、最高品質の最終製品を保証します。TRIKON Sigma 200には、安全自動シャットオフ、緊急停止スイッチ、インターロック資産、排気フードなどのハイエンド安全ツールも搭載しています。シグマ200の最大処理速度は20cm/minで、中規模プロセスに最適です。また、2分以内に均一な構造を作成するために使用することができる高度なthermo-floodおよびthermo-refluxメソッドもあります。TRIKON Sigma 200は、直感的なタッチスクリーンインターフェイスにより、使いやすく、最高の精度と再現性を提供し、信頼性の高いプロセス結果を保証します。高精度の性能、石英およびダイヤモンドの上塗を施してあるレーザー光学および上限の安全モデルによって、Sigma 200は中規模のエッチングされ、灰にされたプロセスを行うために完全な選択です。
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