中古 TRIKON Omega RIE #293651484 を販売中

TRIKON Omega RIEは、高品質、高精度、専門技術を市場に提供するために開発されたリアクティブイオンエッチング（RIE）装置です。プラズマ強化化学蒸着（PECVD）や高密度プラズマ機能などの最新の微細加工技術を使用して、精密で精密なエッチングパターンを提供します。この技術により、穴、溝、線幅などの精密な機能をさまざまな材料でエッチングすることができます。Omega RIEは、金属および誘電性エッチング、深い反応性イオンエッチング、エッチングおよび成膜の独立した最適化など、幅広いプロセスを提供しています。このシステムは、高度な技術デバイスのための現実的なエッチング深度と機能定義が可能な高密度プラズマを生成する専用のイオン化および爆撃システムなどの最先端の技術を備えています。さらに、TRIKON Omega RIEは、高度なタイミング制御、ハイパワーおよびプラズマ制御エッチング、独立したイオンおよびエネルギーイオンエッチング制御、プラズマの安定性と信頼性のための統合冷却ユニットなどの高度な機能セットを提供しています。さらに、エッチングプロセスのソフトウェアとリアルタイムディスプレイを内蔵しており、エッチングパラメータの調整とエッチングプロセス中のリアルタイムの最適化を可能にします。これにより、長時間の実行と再現可能なエッチング深度のための一貫した結果が保証されます。このツールは、金属や誘電体の広い範囲をサポートし、非常に汎用性の高いエッチング資産を提供します。Omega RIEは、エッチング工程を通して高精度かつ再現性を提供し、操作が容易なコンパクトでコンパクトなモデルです。高品質なパフォーマンスを提供し、優れた結果をもたらします。独自の機能により、TRIKON Omega RIEは最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。それは信頼性が高く、非常に効率的であり、所有コストが低い。この技術は、産業および研究所の微細加工および微細加工に最適です。