中古 TRIKON / ELECTROTECH Omega II #293668338 を販売中

TRIKON/ELECTROTECH Omega IIは、基板調製分野におけるさまざまな用途向けに設計されたエッチングおよびアッシング装置です。このデバイスはプログラマブルコントロールを備えており、ハイエンドのフォトリソグラフィーアプリケーションに必要なエッチングおよびアッシングプロセスのための自動オプションと洗練されたレシピを提供します。最大エッチング速度は40ミクロン/分、最大アッシング速度は80ミクロン/分、温度範囲は35〜70°Cです。この機能により、エッチングまたはアッシング処理中に作成された有害残留物の放出が制限されます。このデバイスは、エッチングまたはアッシュ製品の温度を下げるクールダウンシステムを備えています。エッチングとアッシングの他に、エレクトロテックオメガIIはウエハハンドリングユニットを内蔵しています。これにより、ユーザーは、所望のプロセスに基づいて一時停止または加速することができるウェーハモーションをプログラムすることができます。ウェハハンドリングマシンは、ウェハローディングの自動化、時間と労力の節約にも役立ちます。さらに、このデバイスには温度安定化ツール、ガスシステム、オーバーヘッドフードスペース、およびクラス1、 Div 2定格コントロールパネルが装備されています。温度安定化アセットは、エッチングおよびアッシングプロセス全体で温度範囲が設定された範囲内にとどまることを保証するのに役立ちます。ガスシステムは、プロセスの変動とスループットを低減するのに役立ちます。クラス1、 Div 2定格コントロールパネルを使用すると、エッチングおよびアッシング処理に関連するさまざまなパラメータを監視できます。オメガIIは、CF4、 CF2、 O2、 CHF3などのPVC/FDA承認のプロセスガスで簡単に動作できるように設計されています。さらに、このデバイスは、化学的機械平面化、マスクおよびウェーハ洗浄、および酸化熱成長を含む複数のアプリケーションに使用できます。全体的に、TRIKON/ELECTROTECH オメガIIは、精密制御とユーザーフレンドリーな機能を備えた汎用性の高いエッチングおよびアッシングユニットです。その封じられた部屋および他の制御選択はそれをさまざまなプロセス適用のための理想的な用具にします。幅広いプロセスオプションを提供し、信頼性の高い長期的なパフォーマンスのために設計されています。