中古 TRIKON / AVIZA Omega i2L #9278124 を販売中

TRIKON/AVIZA Omega i2Lは、科学、産業、教育用に設計された先進的なドライプラズマエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、大型ワークチャンバー、最先端の回路および制御システム、およびエッチングプロセスパラメータを正確に制御するための独自のマスフローセンサーを備えています。このユニットの洗練された電源は、幅広い処理パラメータを提供することができ、ユーザーはエッチング/アッシングのニーズを特定のアプリケーションに合わせて調整することができます。また、排出量を制限し、オペレータと環境を保護するように設計された統合排気ツールも備えています。エッチング処理は、統合された質量流量計を使用して最適化され、リアルタイムで原子炉内の圧力と温度を決定します。ユーザーは時間、区域および使用される特定のエッチングガスに基づいてエッチングを制御でき、エッチング率がアプリケーションに最適化されます。このi2Lは、フッ素系ガス、酸素、高貴で働くガスなど、さまざまなエッチング/アッシングガスを使用することができます。これらのガスは単独で使用するか、特定のレシピで組み合わせることができます。これにより、シリコンウェーハからプラスチック、金属まで幅広い素材に適しています。AVIZA Omega i2Lは、ユニークな人間工学に基づいたデザインも特徴です。そのアルミ合金の構造は熱ゆがみを除去します、ウェーハまたは粉への潜在的な損傷を防ぎます。さらに、モジュール式の設計により、多数のオプションのアクセサリが可能になり、さまざまなアプリケーションに合わせてモデルをカスタマイズできます。TRIKON Omega i2Lは、幅広いユーザーのニーズに対応するために設計された汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。その洗練された電源、統合された質量流量計、高度な制御装置と優れた設計は、産業、科学、教育のニーズを満たすための強力なツールを提供します。