中古 TRIKON / AVIZA Omega  FxP #293799540 を販売中

TRIKON/AVIZA オメガFxPは、半導体業界の精密エッチングとアッシング用に特別に設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。最適化された処理時間とサイクル時間の短縮を可能にする高度な自動流体制御装置を備えています。半導体デバイス製造に使用されるフォトレジスト、金属化、MEMS、太陽光発電などの高度なエッチング・アッシュに使用できます。このマシンは、オープンフレーム構造、光学ビューウィンドウ、および迅速なメンテナンスと操作のための簡単なアクセス室を備えた、その設計でユニークです。高効率真空システム、精密ガス供給ユニット、強力な加熱冷却装置を組み合わせ、エッチングおよびアッシング工程において優れた精密制御を提供します。これは、サンプルの表面が選択されたエッチングで完全に覆われており、いかなる方法でも損傷しないことを保証します。AVIZA Omega FxPはまた、危険な状況を検出し、緊急時にツールをシャットダウンするために、サーモックブルやガス監視センサーなどの高度な安全システムを備えています。これにより、エッチャー/アッシャーで作業中のユーザーに最適な作業条件が保証されます。このマシンは、最大1µmの目標精度を持ち、-65°Cから500°Cまでの温度で動作することができます。最大200mmまでの基板加工が可能で、CF4、 O2、 SF6、 Arなどの各種プロセスガスに対応しています。TRIKON Omega FxPは、シングルステップとマルチステップエッチングの両方を1つのアセットで提供する独自のデュアルモードイオンソースも備えています。これにより、サンプル表面に高い精度と均一なエッチング/アッシュパターンが得られます。機械のすべての部品は良質、最も信頼でき、精密なエッチングおよびashingプロセスを保証します。Omega FxPは、迅速なセットアップと迅速なサイクルタイムを可能にする完全に自動化されたツールです。これにより、半導体デバイス製造における高度なエッチングアッシュプロセスに最適です。