中古 TRIKON / AVIZA FxP #9135551 を販売中

TRIKON/AVIZA FxPは、半導体デバイスの製造に使用される高度なエッチャー（またはアッシャー）です。これは、フロントエンドとバックエンドの両方の処理に適した汎用性が高く、費用対効果が高く、自動化されたツールです。このデバイスには、直感的なユーザーインターフェイスとエッチングプロセスの正確な制御を提供する自動プロセス制御アルゴリズムが装備されています。このデバイスのグラフィックユーザインタフェースにより、オペレータは時間、電力、圧力、流量などのエッチングのためのさまざまなパラメータを入力できます。さらに、ソフトウェアは、複数のレシピのセットアップと必要に応じてそれらを変更する柔軟性を可能にします。このハードウェアは、エッチング工程でウェハステージとマスキングヘッドを動かす6軸ロボットアームを備えています。これにより、エッチングパラメータの精密な制御が可能になり、パターン化された基板表面とパターン化されていない基板表面の両方の均一なエッチングが可能になります。AVIZA FxPは、同時多結晶エッチングなどの高度なプロセス機能を提供します。また、高いエッチングスループットを提供し、生産効率を向上させ、コストを削減します。このデバイスにはマルチターゲットエッチングチャンバーが装備されており、複数のウェーハを1つのプロセスサイクルで処理することができます。このチャンバーは、異なる時間、圧力、および電圧の同時エッチングを可能にし、異なるチャンバにウェーハを転送する必要性を排除します。TRIKON FxPは、精密なエッチング制御と最適化された性能を提供するだけでなく、非常に安全に使用できます。ユーザーとウェーハを保護するさまざまな操作機能と安全機能を備えており、簡単で安全で信頼性の高い使用を保証します。これらの機能には、内蔵の診断、調整可能な安全アラーム、およびガスフローのシャットオフ機能が含まれます。FxPの革新的な設計はまた、密封されたラジエーター内の潜在的に危険なガス配分部品を包含することによって、エッチング工程中に最大限のオペレータの安全性を提供します。TRIKON/AVIZA FxPは、ウェーハ上の正確なパターンや特徴をエッチングするための優れた装置です。正確なプロセス制御、高スループット、ユーザーフレンドリーで自動化された操作、高度な安全機能を提供します。結論として、AVIZA FxPは、今日の進化を続ける半導体デバイス製造要件の要求を満たすための完璧なエッチャーです。