中古 TRIKON / AVIZA Celsior #9226879 を販売中

TRIKON/AVIZA Celsiorは、非常に高精度なパターニングと加工を提供するように設計された高度な精密エッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、最小の機能サイズと最も正確なパターニングとアッシングの結果を達成するために最適化されており、マイクロエレクトロニクスの専門家が半導体基板全体に小さな機能を開発することができます。このユニットは、電子デバイスの最適な性能を確保するために、クリーンで即時かつ正確な処理のために設計されています。AVIZA Celsiorは、低消費電力要件、低コスト動作、汎用性の高いアッシング機能を備えており、ユーザーはさまざまな化学源と粉末調製技術から選択することができます。TRIKON Celsiorは、新しい合金互換エッチングチャンバーを使用することで、合金や複数のフィルムのジョイントフリーエッチングを行うことができます。さらに、エッチングチャンバーには真空補助リフローが内蔵されており、金属の適切な溶融と均一な混合を保証します。基板の精密エッチングとアッシングが8mm程度の小型化が可能で、より小型のフィーチャーサイズでも高い精度が得られます。さらに、Celsiorは、最大32ミリメートルのサイズで測定された基板を加工することができます。精密エッチングおよびアッシングスループットの面では、このマシンは最大10のエッチングおよびアッシングステージを持ち、各ステップに可変時間があります。このツールには、プロセスパラメータのオンライン監視、自動エンドオブランプロトコル、自動フィードバックパラメータ、さまざまなマスクタイプ、ウェーハの機械的処理の強化などの機能も含まれています。ユーザーに最適な安全性を確保するために、TRIKON/AVIZA Celsiorはエアロックインターロックアセットで設計されており、プロセス固有の安全ガードが含まれています。AVIZA Celsiorは、デバイス製造プロセスで小さなパターン化されたレイヤーを製造するための理想的なツールです。ダウンタイムを最小限に抑えた精度と信頼性を必要とするあらゆる実験室や生産環境に最適です。低消費電力要件と高い精度により、さまざまなマイクロエレクトロニクス基板を処理するための費用対効果の高い選択肢となります。