中古 TRIKON / AVIZA Celsior #9180428 を販売中
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ID: 9180428
ウェーハサイズ: 12"
Atomic Layer Deposition (ALD) systems, 12"
ALD Oxide system:
BROOKS Gemini express central hub
(6) Facets for attachment of process modules
(2) Facets for pass through to atmospheric front end
Atmospheric front end with BROOKS
3-Axes robot
BROOKS Acculine wafer aligner
(2) BROOKS BOL TS/M Compatible load port modules
12" FOUP / Manual load
SMIF / Manual load, 8"
Off-board power distribution
Control enclosure for local branch circuit protection
Communication hubs
DC Power supplies
Input / Output hardware
Multiple process modules with hot wall reactor chamber
Shower head injection system
Single zone stage heater
Optimized for oxide deposition: 300°C to 500°C
Standard PM on board chemical vapor
Delivery system with integrated gas block design
Argon bubbled canisters for liquid source
IBM PC Compatible computer
OS With operator interface
Data acquisition
Recipe creation and storage
ALD Process module:
Single process module (PM)
With hot wall reactor chamber
Shower head injection system
(2) Zones stage heater optimized for oxide deposition
Process module:
Nola process module
Wafer transfer module
SECS / GEM Compliance, 12"
(2) Training credits
(2) Installation manuals
(2) Programmers manuals
(2) Operation manuals
(2) Maintenance manuals
(2) Systems schematics on CD-ROM
Options:
Signal light tower
Ionizer bar
System spares and tools:
Celsior shower-head swap kit
Includes:
Load-port handoff buttons
Digital MFCs
With digital (4 MFCs / PM)
Celsior fixture kit:
Stage heater calibration fixture
Ceramic removal fixture
Vacuum viewing fixture included
Robot teach fixture.
TRIKON/AVIZA Celsiorは、基板の精密かつ高速エッチングおよびアッシング用に設計された高度なエッチング/アッシング装置です。この革新的なシステムは、幅広いプロセス能力を備えた独自のOTS （Opto-Thermal Sputtering）技術を利用しています。半導体製造工程における基板の蒸着、イオン爆撃、酸化、エッチング/アッシングの業界標準です。AVIZA CelsiorはOpto-Thermal Sputtering （OTS）ツールを備えています。この資産はスパッタリングプロセスを正確に制御し、一貫した高品質の結果を保証します。TRIKON Celsiorは、加工面の高速かつ均一なアニーリングを可能にする大きな均一な基板加熱領域を備えています。Celsiorは、統合された高度なデジタルクローズドループ制御モデルを使用して、プロセスパラメータを正確に監視します。これにより、エッチング/アッシング処理中に必要な量の材料だけが基板に適用されるようになります。さらに、TRIKON/AVIZA Celsiorには、緊急停止機能を含む統合された安全機能が搭載されており、潜在的に危険な状況からオペレータを保護します。AVIZA Celsiorには、75〜150 mmのさまざまな基板サイズが標準装備されています。この装置は、シリコン、石英、ガラス、その他の一般的な基板など、さまざまな材料にも対応できます。TRIKON Celsiorは金属と誘電材料の両方を処理するように設計されています。Celsiorは長期的な信頼性のために設計されており、何千もの高品質のプロセスを生産することができます。TRIKON/AVIZA Celsiorも使いやすく、簡単なコントロールホイールにより、オペレータはパラメーターを迅速かつ正確に微調整できます。さらに、AVIZA Celsiorは、さまざまな高度な診断とリモート監視を備えており、オペレータが潜在的な問題を迅速に特定して解決するのに役立ちます。TRIKON Celsiorは、さまざまなアプリケーションに迅速で信頼性の高い正確な結果を提供する高度なエッチング/アッシングシステムです。ユニットはユーザーフレンドリーであり、その高度な制御機械は、材料の所望の量だけが適用されることを保証します。また、Celsiorは長期的な信頼性のために設計されており、さまざまな基板サイズとさまざまな材料がサポートされています。これにより、TRIKON/AVIZA Celsiorはさまざまな半導体製造プロセスに最適です。
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