中古 TRIKON / AVIZA Celsior #293665944 を販売中

TRIKON/AVIZA Celsiorは、半導体製造プロセスでエッチング、デポジット、ストリップ、およびクリーン広範囲の基板に使用されるプロのフルフィールド、高解像度ウェハエッチャー/アッシャーです。信頼性が高く、完全に自動化され、費用対効果の高い生産ツールです。AVIZA Celsior Etcher/Asherは、自動交換システム（AES）やリモートプラズマソース（RPS）など、いくつかの先進技術を備えています。AESは、リアルタイムの品質管理とプロセスレシピの迅速な可用性の利点を提供します。RPSは反応性プラズマのモジュラー源であり、基板のすべての部分を均一にエッチングできます。さらに、機械には高度な動的熱制御（DTC）システムが装備されており、手順のどの段階でも安定したエッチングと堆積プロセスを保証します。また、TRIKON Celsiorは、さまざまな結果を得るために幅広いプロセスレシピを実行することができます。これらには、シリコン、石英、アルミナ、TiNなどのエッチング基板が含まれます。また、金属、ポリイミド、SiO2、 SiNなど、さまざまな材料を堆積させることができます。さらに、Celsiorは基板をきれいにし、磨くだけでなく、チャンバーの状態を制御し、監視する専用のツールを内蔵しています。ソフトウェアパッケージは、自動化されたメンテナンスと診断、パスワード保護、リアルタイムパラメーターロギング、パーティクルトラッキングなどを備えています。TRIKON/AVIZA Celsior etcher/Asherは、厳格な安全プロトコルを備えたクリーンルーム環境での使用を想定して設計されています。操作とメンテナンスが容易で、最適な量の基板を効率的かつ優れた品質で処理することができます。Etcher/Asherは並列処理能力のために設計されており、大量生産ラインに最適です。要約すると、AVIZA Celsiorは、エッチングと蒸着プロセスの幅広いリストを実行するように設計された、汎用性の高いフル機能のエッチャー/アッシャーです。その高度なオートメーション技術と監視および制御システムは、優れた基板品質で効率的かつ均一な動作を保証し、信頼性と費用対効果の高いチップ製造を提供します。