中古 TRIKON / AVIZA Celsior #182678 を販売中

TRIKON/AVIZA Celsiorは、化学ベースのエッチングおよびアッシング処理を使用してナノスケール装置を作成するエッチャーおよびアッシャーです。AVIZA Celsiorは、エッチング化学およびプロセスパラメータの幅広い選択を可能にする完全自動化された機器です。TRIKON Celsiorは、温度、圧力、温度勾配、エッチソリューションの組成などのパラメータを制御する完全にコンピュータ化された機器を備えています。さらに、Celsiorはエッチング速度、スループット、エッチング品質の精密制御を提供します。TRIKON/AVIZA Celsiorは化学蒸気エッチング（CVE）プロセスを採用しており、エッチング速度と地形の非常に正確な制御を可能にします。このプロセスはAVIZA Celsiorの高解像度エッチパターン機能と相まって、ナノスケールのプロセスを可能にします。TRIKON Celsiorはまた、独自の真空補助蒸着プロセスを提供し、多くの蒸着オプションを可能にします。Celsiorは、金属、合金、酸化物、セラミックス、およびウェーハやダイなどの製造サンプルを含むさまざまな材料をエッチングおよびアッシャーすることができます。システムのウエハサイズは125mmで、最小フィーチャーサイズは10nmです。TRIKON/AVIZA Celsiorには、選択的エッチング、フルエッチング、ブランケットエッチングの3つのエッチモードもあります。AVIZA Celsiorはまた、最高品質のエッチングとアッシングプロセスを保証するために完全に統合されたラボサポートユニットを備えています。この機械はサンプルのローディングおよび荷を下すこと、自動化されたプロセス制御、調理法の作成および管理、パターン化された層のエッチング、後処理およびレポートの生成を支えます。このツールは、レシピの作成と管理、サンプルランスケジューリング、および内蔵のグラフィカルディスプレイとレポートによる自動データロギングも提供します。このアセットはオプションの自動光学検査モデルを提供し、エッチングおよびアッシュされたサンプルの自動ピクセル評価をサポートします。TRIKON Celsiorは、高性能ナノスケール材料およびプロセスの研究者および開発者にとって理想的なソリューションです。高エッチレート、高精度制御、自動化された加工を組み合わせて、Celsiorは最高品質のさまざまな構造、パターン、およびコンポーネントを生成するために使用できます。TRIKON/AVIZA Celsiorは、高精度エッチングとアッシングソリューションを求めるお客様に最適です。