中古 TOKYO OKA / TOK TCE-7822 #293625343 を販売中

TOKYO OKA/TOK TCE-7822は、さまざまなアプリケーション環境で優れた性能と信頼性を実現するために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。この単位は実験室および産業設定を含む中型から大量の生産のエッチングそしてashingプロセスに適しています。装置には、最適なプロセス制御のための調整可能な高さの強力なエッチャー/アッシャーカラムが含まれています。この列はソリッドベッドサポートに取り付けられており、エッチング時間を監視するためのロータリーインデックスも提供します。カラムはステッピングモーターで制御され、エッチング時間、温度、圧力を正確かつ正確に調整できます。このシステムには、エッチングとアッシング残留物を効率的に回収するための大容量の真空タンクも含まれています。TOK TCE-7822は、多くの高度なエッチングとアッシングプロセスを可能にするように設計されています。このユニットは、複数の基板を処理することができ、トレンチ、エッチング、接触穴、アスペクト比（AR）エッチング、ウィンドウエッチングなど、さまざまなエッチング形状に適応することができます。エッチングウィンドウのサイズは0。1umから200 µmまでの範囲です。エッチング精度を最適化するために、機械は可変異方性エッチング時間と可変深度（DOE）を組み込むように調整することができます。TOKYO OKA TCE-7822は数多くのガスや試薬に対応しており、様々な工程での使用が可能です。エッチングガスには、酸素、窒素、アルゴンが含まれます。これらのガスと組み合わせて使用する場合、このツールはウェットまたはドライエッチングに使用できます。試薬は、選択的エッチングおよび平面化プロセスの両方に使用できます。最後に、アセットは急速な熱アニーリングにも使用できます。TCE-7822には、要求の厳しい環境での信頼性と精度のための高度なプロセス制御機能も含まれています。このモデルには、複数のガス置換制御が含まれており、正確なフロー制御と複数のガス入力を可能にします。この装置には真空制御機能も組み込まれており、プロセス圧力と均一性を最適化するのに役立ちます。この機能は、エッチング速度の高速化、再配置の最小化、エッチング残留の減少にも役立ちます。要するに、TOKYO OKA/TOK TCE-7822は、エッチングとアッシングのさまざまなプロセスを可能にする信頼性の高い強力なエッチャー/アッシャーです。このシステムは、さまざまな基板を処理し、さまざまなサイズのエッチングウィンドウを処理し、複数のガスや試薬を収容することができます。このユニットは、エッチング精度と信頼性を高めるために、マルチガス置換制御や真空制御などの高度なプロセス制御機能を備えています。