中古 TOKYO OKA / TOK TCE-3822 #293766670 を販売中

TOKYO OKA/TOK TCE-3822は、最も要求の厳しいアプリケーションに最適な高性能で信頼性の高い性能を備えたエッチャー/アッシャーです。精密な操作が可能な高精度制御装置を搭載しています。TOK TCE-3822は、スループットを向上させ、最大20,000ウェーハ/時間のエッチング/アッシングが可能であり、また、化学的および機械的に敏感な材料の迅速かつ正確な開発のためのスプリットコーター/デベロッパーを含む機能が搭載されています。TOKYO OKA TCE 3822は、正確なアライメントのための正確な許容誤差のために構築された精密な構造設計を特徴としています。革新的なエンジニアリングと品質により、エッチング/アッシングプロセス中の優れた熱と部品の損傷制御を可能にします。この設計により、部品の均一なエッチング/アッシングが可能になり、自動化およびエンジニアリングプロセスに関して柔軟性が向上します。TOKYO OKA TCE-3822は、エッチング時間とアッシング時間の調整を含むサイクルタイムを短縮しました。また、エッチングとアッシングサイクルの詳細な監視を可能にする高度な制御システムを提供しています。グラフィカルユーザー干渉（GUI）により、ユーザーはエッチング/アッシング処理を素早く簡単に設定でき、ユーザーのエッチング/アッシング操作を支援する便利なヘルプメニューを提供します。また、エッチング/アッシングプロセスの誤操作を防ぐ安全ロックアウトなど、さまざまな保護機能を提供しています。TCE-3822のエッチングチャンバーは、エッチングバイアスのない均一なエッチング/アッシング用の反射防止コーティング石英エッチングチャンバーです。また、高い出力レベルでもエッチング率が高く、幅広い用途に対応しています。このチャンバーは、効率的にガスプロセスを排出し、使用済みガスを取り除くように設計されています。その2段階の排気とポンプバックのユニットは、プロセスの圧力条件を変更するための高速なフロー調整を可能にし、後で使用するためにいくつかのレシピを保存することができます。TCE 3822は、最も要求の厳しいアプリケーションにも対応できる幅広い機能を備えた信頼性の高い正確なエッチャー/アッシャーです。その堅牢な設計と統合された制御機は、エッチングとアッシングに最適な選択肢であり、ユーザーフレンドリーなインターフェースは便利な操作を保証します。高度な機能を備えたTOKYO OKA/TOK TCE 3822は、あらゆるエッチング/アッシング用途に最適です。