中古 TOKYO OKA / TOK TCA 7822S #9239620 を販売中

TOKYO OKA/TOK TCA 7822Sは、東京岡本株式会社が開発したエッチャー/アッシャーです。この7822Sは、半導体デバイスの製造に使用される低温、高精度の片面エッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、ウェーハやマスクの表面の洗浄、剥離、エッチングに使用されます。TOK TCA 7822Sは回転式温度制御、4チャンバーエッチャー/アッシャーです。酸化物フィルム、ポリマー、窒化ケイ素フィルム、ガラス、金属など幅広い材料で動作します。エッチャー/アッシャーは、400˚Cまでの精密な温度制御を可能にする技術を利用し、1バーまでの低圧の使用をサポートします。7822Sの前面には、ウェーハカセット積載装置と、カセットウェーハ積み下ろし用のプログラム可能なシャトルシステムがあります。エッチャー/アッシャーは、4つの独立したガス流量チャンバーで設計されています。これらは、上部加熱チャンバ（UHC）、下部加熱チャンバ（LHC）、 AnnULAR加熱チャンバ（AHC）、および未加熱チャンバ（UHC）です。7822Sは、高度な加熱技術を使用して、各チャンバーの温度を自動的に調整します。各チャンバで使用される温度設定は、チャンバごとに特定の温度を入力することで調整できます。TOKYO OKA TCA 7822Sには、タッチパネル式フロントパネルが搭載されており、グラフィカルユーザーインターフェイスで簡単に操作できます。この7822Sは、エッチング速度、エッチング深度、エッチング速度のさまざまな数式でプログラムすることができ、あらゆる業界のエッチングのニーズを満たすために最適です。エッチャー/アッシャーは64ビットの高速プロセッサと複数のインタフェースで設計されており、迅速かつ正確なデータ交換が可能です。この7822Sには、酸化アルミニウムなどの高導電膜を堆積させるための真空ロータリースパッタユニット（VRS）も含まれています。この7822Sは、金属、ポリマー、窒化ケイ素など、さまざまな材料をエッチングすることができます。TCA 7822Sは、半導体デバイスの製造に最適なエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、精密な温度制御、プログラム可能なシャトルマシン、統合されたタッチパネル、さまざまな数式により、さまざまな業界のさまざまなエッチングニーズに対応しています。この高度なエッチング/アッシャー技術は、各エッチング出力で一貫した信頼性の高い結果を提供します。