中古 TOKYO OKA / TOK TCA 3822 #293752267 を販売中

TOKYO OKA/TOK TCA 3822は、脱カプセル化、シリコンマイクロマシン化、表面改質など様々な用途に使用できるように設計されたエッチャー/アッシャーです。本機は、誘導結合プラズマ（ICP）エッチング源を利用し、様々な基板や材料において極めて高精度なエッチングを実現しています。TOK TCA 3822は完全に密封された装置を備えており、汚染物や不純物がなく、各エッチングが一貫した品質であることを保証します。エッチングチャンバーは、基板全体に均一なエッチングを容易にするために不活性ガス混合物で加圧されますが、チャンバーの壁には静的なしがらみを確保し、静的切除のリスクを低減するための特別な処理があります。このマシンには、エッチング速度と残留除去速度の両方を正確に制御できる可変周波数パルス制御モジュールも含まれています。TOKYO OKA TCA 3822には、ガス混合物を正確かつ均一に供給する自動ガス分配システムも含まれています。このユニットは、基板のすべての部分が同じ速度でガスにさらされていることを保証します。また、エッチングの精度を最大化し、残留を最小限に抑えるために、パルス変調とセグメント操作の両方を可能にするダブルパルスドライブマシンを採用しています。さらに、TCA 3822は加熱されたソースチャックを備えており、基板温度制御を強化して均一なエッチング結果を保証します。この機械はまた、チャンバーに統合された自動ガスパージ工具を備えており、汚染の可能性をさらに低減します。このチャンバーは、さまざまなサイズと形状の基板に対応できる調整可能なプラットフォームも備えています。TOKYO OKA/TOK TCA 3822は、精密エッチングと表面改質能力を要求する製造アプリケーション向けに設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。複数のエッチングプロセス機能、正確に維持されたクリーンな環境、および高度なガス分配資産により、このマシンは、各エッチングが一貫した高品質の結果で提供されることを保証します。