中古 TOKYO OKA / TOK TCA 3400 #9181768 を販売中

TOKYO OKA/TOK TCA 3400は、エッチング、アッシング、クリーニングプロセスの高品質を提供するエッチャー/アッシャー装置です。高速・高精度機器、高度なプロセス制御により、優れた性能と信頼性を実現します。このエッチャー/アッシャーシステムは、パフォーマンスを向上させ、コストを削減し、プロセス歩留まりを向上させるように設計されています。エッチャー/アッシャーは、ダイレクトスプレーまたはファンタイプのガス封じ込めシュラウドのような設計を採用した高度な精密スプレープロセスを備えています。このユニットは、金属材料と非金属材料の両方の均一で高品質なエッチングを提供するように設計されています。プロセスは容易にさまざまな形、材料およびサイズのエッチングを容易にするために調節することができます。ファンタイプのガス封じ込め機能は、ガス使用量とエネルギー消費量を削減するだけでなく、廃棄物を排除するのにも役立ちます。さらに、TOK TCA 3400は、効率を最適化するための高度なセルフキャリブレーション機能を提供します。この機能は自動的にプロセスパラメータを維持し、一貫した品質のエッチングとクリーニングの結果を保証します。プロセスパラメータはTOKYO OKA TCA-3400のユーザーインターフェイスで管理することもできます。機械は一貫して清潔な部屋および装置を保障する自動クリーニングプロセスを含んでいます。これは、破片を最小限に抑えるために回転、パワーアシストのブラシとフィルターされた真空ツールを利用しています。このアセットは、手動モードまたは自動モードでクリーニングプロセスを実行するように設定できます。このチャンバーには、ウェーハの効率的かつ自動的なローディングを保証する自動ウェーハローディングモデルも装備されています。TOKYO OKA/TOK TCA-3400は、エッチングやクリーニングプロセスをカスタマイズできる幅広いオプションを備えています。イオンエッチングやスパッタエッチングを内蔵したチャンバーなど、様々なチャンバー変更が容易に行えます。また、ガスミキシング、ウエハ形状、ウエハサイズ、ガスタイプ、基板タイプなど、さまざまなプロセスパラメータに対応できます。TOKYO OKA TCA 3400は、エッチングと洗浄性能に優れた高度なエッチャー/アッシャーシステムです。使いやすく、高度に構成可能で、一貫した結果を提供します。高度な機能と幅広いオプションを備えたTOK TCA-3400は、あらゆるエッチングおよびクリーニング要件に最適です。