中古 TOKYO OKA / TOK TCA-2400 #9396127 を販売中

TOKYO OKA/TOK TCA-2400は、産業用途向けに設計されたエッチング・アッシング装置です。このシステムは、化学的およびドライアッシングが可能であり、標準的なサセプターからウェーハなどの製品まで、さまざまな材料を処理できます。300mmウェーハサポートカセット、24スロットウェーハマガジン、ウェーハを所望の位置に移動させることができるリクチリニアステージを備えています。デュアルゾーン抵抗炉は、熱処理と化学アッシング反応の両方を実行することができます。それは調節可能な暖房率と高温制御および反復可能性を提供します。TOK TCA-2400は、正確かつ正確なプロセスパラメータを提供しながら、プロセスガスの迅速な調整を可能にするガス混合機を利用しています。TOKYO OKA TCA-2400は、再現性と信頼性の高いプロセス結果により、最大1µmの機能サイズまでの温度範囲を周囲温度から2400°Cまで実現しています。これは、正確な結果を確保するために、処理ガスの精密な調節のための充電とリリーフガスの両方を含むガス混合ツールを利用しています。この資産には、オペレータと周囲の環境を保護するための圧力および温度監視などのいくつかの安全機能も含まれています。TCA-2400は耐久のステンレス鋼から成り、優秀な熱性能のための非常に絶縁された構造を特色にします。それは材料消費量を減らした質の結果の高い生産のためにとりわけ設計されています。ユーザーフレンドリーなLCDコントロールパネルと自動セルフキャリブレーション機能により、シンプルで効率的な操作が可能です。さらに、このモデルにはリモート自己診断機能と通信機能が搭載されており、プロセスのリモート監視と制御を可能にします。TOKYO OKA/TOK TCA-2400は、精度と精度を必要とする用途において優れた性能を発揮する汎用性と信頼性の高いエッチング/アッシング装置です。システムは非常に信頼性が高く、操作とメンテナンスが容易で、優れたプロセス再現性と信頼性を提供します。幅広い産業用途に最適で、信頼性の高い結果で複数の材料を処理できます。