中古 TOKYO OKA / TOK OPM A 1200 #162892 を販売中

TOKYO OKA/TOK OPM A 1200は、東京オーカ工業株式会社が製造するプラズマエッチャーです。（TOK）。薄い金属フィルムとウェーハの選択的エッチング用に設計されており、再現性のある低コストの所有権を備えています。このエッチャーは、エッチングする基板に向かって加速されるイオンを生成するために高エネルギー電場を使用するマグネトロンスパッタプロセスに基づいています。TOK OPM A 1200は24インチのスパッタチャンバーを備えており、正確で自動化されたシールドパターン制御、完全真空密封RFパワー、マスキング、レート、シールドパターンなどのエッチングプロセスを正確かつ自動で制御します。このソフトウェアには、パラメータの最適化、データ監視とロギング、再生ストレージなど、さまざまな機能が含まれています。また、GDSII、 Gerber、またはビットマップデータフォーマットからのフルリソグラフィーエッチングもサポートしています。TOKYO OKA OPM A 1200エッチングは超高スループットで、迅速なターンアラウンドタイムと低コストエッチングが可能です。精密なマスクアライメントを実現するオートアラインシステムと、プロセス温度を許容範囲内に保つマルチゾーン冷却ユニットを備えています。さらに、ウェーハの自動加熱および冷却プロセスを備えており、薄い金属膜のエッチング中に均一性を維持するのに役立ちます。OPM A 1200は、幅広い機能と機能を備えた高効率エッチング機です。エッチング工程の精密かつ自動化された制御と費用対効果の高い設計により、信頼性と精度の高い薄い金属エッチングに最適です。高いスループットと高精度を誇るTOKYO OKA/TOK OPM A 1200は、一貫した正確な金属エッチングに最適です。