中古 TOKYO OKA / TOK OPM 1200 #9269154 を販売中

TOKYO OKA/TOK OPM 1200は、フォトマスクの開発に使用するエッチャー/アッシャーです。酸性フリーの高圧装置で、エッチングやアッシングの様々な用途において、余分な速度と精度を提供できます。TOK OPM 1200は、多軸エッチングを可能にするマルチプロセッサ制御システムを採用しています。エッチング工数の削減、工程間のダウンタイムの削減、基板の取り扱いの削減により、時間の節約と製品歩留まりの向上を図っています。TOKYO OKA OPM 1200は、大量生産・量産ラインに適した大型単体積載量を有しています。この機械は、ポリイミド、ガラス、シリコンなどの基板を最大12インチ（300 mm）までエッチングすることができ、0。4〜3。0インチ/分（1。0 μ m〜8。0 μ m/分）のレートでターゲット材料の様々な厚さをエッチングすることができます。このツールは、洗練されたデジタルプロセッサとPLC制御アセット、および8軸パンタグラフX-Y-Z- θ-θ回転軸モーションモデルを備えており、精密で繰り返し可能なエッチングパターンを可能にします。OPM 1200は、4つのタイマー回路とサーボモータを使用して、レイヤー間のエッチング速度、角度、深さ、および重複を正確に制御する特許取得済みの制御装置を備えています。これにより、誤ったエッチング深度とレイヤー遷移を最小限に抑えながら、均一性と精度が保証されます。また、オプションの光検査装置でシステムを構成することも可能で、信頼性を高めます。高速ながら低圧（最大17。5kgf/cm2）のエッチングを可能にする調整可能な圧力、および高エネルギー効率設計により、化学物質の使用と全体的な環境への影響を最小限に抑えます。機械はまた腐食性および危険な大気の形成を防ぐ安全エンクロージャを特色にし、密封されたマイクロクリーンフィルターは維持し易いです。ACフリー設計により、感電リスクを大幅に低減し、緊急停止ボタンなどの安全対策を内蔵し、オペレータを怪我から保護します。その結果、TOKYO OKA/TOK OPM 1200は、さまざまな材料や製品アプリケーションに安全で効率的なエッチングおよびアッシングソリューションを提供します。