中古 TOK OAPM-301B #9111751 を販売中

TOK OAPM-301Bは、基板の精密エッチング/アッシングを必要とする様々な用途に使用するために設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。手作業と自動運転の両方に適したコンパクトで操作しやすいシステムを備えた最先端の設計を特徴としています。OAPM-301Bは、基材の迅速なエッチングおよび/またはアッシングを提供するように設計されており、一貫した結果を得るための優れた再現性を備えています。TOK OAPM-301Bには高性能プラズマエッチャーが搭載されています。この電源は、エッチングまたはアッシング用途に合わせて幅広い電源設定を提供することができ、さまざまな基板で最適な性能を提供します。このエッチャーは、別のソースから不活性な雰囲気を描き、エッチングまたはアッシング処理中にプラズマと混合します。プラズマのパワーレベルは0から600ワットまで調整可能で、軽量で重いエッチングやアッシングの両方に適しています。OAPM-301Bは、温度制御基板ホルダーと自己完結型のクアッドレベル真空チャンバーを備えており、エッチングまたはアッシング環境の迅速なサイクル時間と均一な避難を可能にします。この真空機械は、最適な性能と再現性を確保するために、水/グリコール工具によって温度制御され、維持されています。このチャンバーは、0〜10mbarの低圧範囲と、0〜10kHzの広い周波数範囲を備えています。このアセットは使いやすく、直感的なユーザーインターフェイスと明確にラベル付けされた組織化されたコントロールノブとボタンを備えています。自動ドアオープナー/クローザー、自動運転モデル、ユーザプログラマブルなレシピ、自動攪拌機能など、さまざまなオプションのアドオンも利用できます。これらのすべての機能により、TOK OAPM-301B精密エッチングまたはアッシング用途に最適です。