中古 TITANIUM TECHNOLOGY Plasmax 601A #9379150 を販売中

TITANIUM TECHNOLOGY Plasmax 601Aは、さまざまな半導体加工ラインに適合するように設計された高性能エッチャーおよびアッシャーツールです。この装置は、厚膜、薄膜、フォトレジスト、酸化物、窒化物、および他の多くの材料を含む基板のエッチングとアッシングに最適です。高度な設計により、幅広いサイズや形状の加工が可能です。Plasmax 601Aは、直感的なユーザーインターフェイスを備えたコンパクトなプラットフォームを備えており、ユーザーはエッチングプロセスをすばやくプログラムまたは変更できます。エッチャーはまた、最高精度を必要とするアプリケーションのための粒子生成とフォールアウトの非常に低いレベルで、例外的なプロセス制御と再現性を提供します。エッチャーには、可変RF発電機、調整可能なスキャンレート、パルス幅変調、高度なハードウェアおよびソフトウェア機能など、さまざまな標準機能が装備されています。これにより、カスタマイズされたエッチプロファイルを可能にする高いレベルの柔軟性が得られます。また、モニターエッチング用のビューポート、エッチング率の高いクライオソルベントユニット、高いスループットを実現する自動ウェーハハンドリングマシン、基板の自動処理を可能にするロボットアームなど、性能をさらに高めるアクセサリにも対応しています。TITANIUM TECHNOLOGY Plasmax 601Aは安全で信頼性の高いツールで、粒子生成と落下を最小限に抑えた一貫した繰り返し可能なエッチングプロセスを提供します。その先進技術は、幅広いプロセスをサポートし、コンパクトなプラットフォームを持ち、ユーザーフレンドリーです。これらのすべての機能により、601Aは生産エッチングラインに最適です。