中古 TITANIUM Plasmax 800A #293760247 を販売中

TITANIUM Plasmax 800Aは、半導体、マイクロエレクトロニクス、MEMS、およびフォトニクス業界の精密エッチングおよび洗浄プロセス用に設計された先進的なプラズマエッチャー/アッシャーです。この最先端の装置は、優れたプラズマの均一性、制御、汎用性を提供し、研究開発や大量の製造環境に最適なソリューションです。プラズマックス800Aには、プラズマチャンバーに最大800ワットの電力を供給できる高出力の無線周波数（RF）発電機が装備されています。この高出力容量により、シリコンウェーハ、ガラス、セラミックス、ポリマーなどの各種基板を効率的かつ迅速に処理できます。RFジェネレータは、安定した信頼性の高い出力を提供するように設計されており、長い動作期間にわたって一貫したエッチング性能を保証します。TITANIUM Plasmax 800Aの主な特徴の1つは、プロセス化学およびプラズマパラメータの正確な制御を可能にする高度なガス供給システムです。このユニットには、複数のプロセスガスの流量を調節するマスフローコントローラが装備されており、ユーザーはエッチングおよび洗浄プロセスを特定の材料要件に合わせて調整することができます。さらに、ガス搬送機はガスの消費と廃棄を最小限に抑え、プロセスの効率と費用対効果を最適化するように設計されています。プラズマックス800Aのプラズマチャンバーは、ステンレスや石英などの高純度材料から構成され、幅広いプロセス化学製品との互換性を確保し、超高真空条件を維持します。このチャンバーは人間工学に基づいた設計で、基板の積み降ろしを容易にするだけでなく、長時間の運転中の過熱を防ぐための効率的な放熱も可能です。TITANIUM Plasmax 800Aは、操作者がリアルタイムでプロセスパラメータを監視および調整できるユーザーフレンドリーで直感的なコントロールインターフェイスを備えています。このツールには、光放射分光法（OES）や質量分析法などの高度なプラズマ診断ツールが搭載されており、プラズマ種やプロセスバイプロダクトを現場で監視できます。このリアルタイムフィードバックメカニズムにより、エッチングおよび洗浄プロセスを正確に制御することができ、一貫性のある再現性のある結果が得られます。優れた性能と信頼性に加えて、Plasmax 800Aは安全性と持続可能性を念頭に置いて設計されています。この資産には、潜在的な危険からオペレータや機器を保護するための複数の安全インターロックとフェイルセーフ機構が装備されています。さらに、エネルギー効率の良い部品を組み込み、プロセスガスや化学物質の消費量を削減することで、環境負荷を最小限に抑えるように設計されています。TITANIUM Plasmax 800Aは、優れた性能、高度な機能、ユーザーフレンドリーな設計により、プラズマエッチングおよび洗浄技術の新しい標準を確立しています。研究開発用途や大量生産用途を問わず、この最先端の機器は、コンパクトで費用対効果の高いパッケージで、比類のない精度、信頼性、効率を提供します。