中古 TEPLA 300 #9229832 を販売中

TEPLA 300
ID: 9229832
ウェーハサイズ: 6"
Plasma asher, 6".
TEPLA 300は研究、生産および製造の適用の基質からの金属および非金属層の取り外しのために使用される高性能エッチャー/asherです。高精度の薄膜表面処理用に設計されており、-55〜+195°Cの低温範囲で、制御性と再現性に優れたエッチング/燃焼プロセスを提供します。300は調節可能な温度調整およびaccelleratedプロセス制御が装備されていて、エッチング/燃焼プロセスの改善された正確さそして信頼性を可能にします。TEPLA 300は頑丈なアルミニウムハウジングから構築され、すべての必要なインジケータとコントロールボタンを備えた使いやすいプロセスコントロールパネルで設計されています。このシステムは、プロセスダイナミクスを最適化するための統合された高電圧エレクトロリフトジェネレータと、各プロセスエリアに個別の冷却ソースと専用接続パックを備えています。また、赤外線フィンガープリントシステムを搭載し、エッチング/燃焼時間と均一性を監視し、均一で再現性のあるプロセス結果を実現しています。300は、解像度5nmまでの高精度で一貫したレーザー加工を提供し、エッチング/燃焼プロセス中の正確な制御を可能にします。制御可能なプロセスパラメータには、電流、電圧、反復速度、スキャン面積、プロセス深度、基板材料が含まれ、ほぼすべての材料でエッチング/燃焼性能を最適化できます。TEPLA 300はハイスループット処理用に設計されており、シングルランサイクルタイムは5分未満で、50 x 25インチ(1,200mm x 600mm)の基板をエッチング/燃焼できます。さらに、基板ラミネートおよび除去用の独立した自動ラミネーションステーション、および機械化された高さ制御およびオプションの温度プロファイル機能を備えています。300は、複雑な基板からの薄膜層を迅速かつ正確かつ費用対効果の高い除去に理想的なソリューションです。堅牢で信頼性の高いエッチング/燃焼プロセスを幅広い用途に提供します。
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