中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9276792 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vigusは、大手エレクトロニクス企業TELが開発したエッチャー/アッシャーです。このマシンは、さまざまな基板の表面微細構造および製造プロセスにおける超高レベルの効率を達成するように設計されています。TEL Vigusは、シリコン、ヒ素ガリウム、窒化ガリウムなどの基板でエッチング、アッシングなどの表面処理を行うことができます。この機械には、深度制御蒸着スパッタリング装置とエッチング制御用の大きなダイナミックレンジが装備されています。これは、優れた精度と均一性を提供するだけでなく、さまざまな種類の基板を処理するための理想的なインターフェイスを提供します。また、電子ビームリソグラフィの精密なアライメント、高解像度、高速化を実現するマルチビームマスクアライメントシステムを、堅牢なウエハハンドリングユニットと組み合わせて搭載しています。これにより、高いスループットでの表面処理を最適化し、正確な形状とサイズ制御を維持します。この機械はモジュラー設計のためメンテナンスと操作が簡単で、個々の部品をアップグレードおよび修理することができます。さらに、自動故障検出器と統合されたオンボード診断機が付属しているため、メンテナンスが容易で、潜在的な問題に対する迅速な反応時間が可能です。最後に、Vigusはこの高度機械からの利点のフルレンジを保障するために例外的な売り上げ後のサービス、また訓練および相談によってバックアップされます。欠陥形成のリスクを最小限に抑え、超高性能と精度を実現し、製品開発プロセスを加速します。