中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9235079 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vigusは、高度なエッチング/アッシングコンセプトとTELのさまざまな技術革新を組み合わせ、最適な性能、精密制御、汎用性のあるアプリケーションを提供するエッチャーまたはアッシャーです。TEL Vigusエッチャーのプラットフォームは、ベースフレーム、真空チャンバー、エッチングチャンバー、制御ユニットで構成されています。基礎フレームは部屋および制御単位を収容し、機械安定性および丈夫な基礎を提供します。チャンバーは、正確な温度と圧力制御のために設計されており、正確な均一で反復可能なエッチング/灰の処理を提供します。制御ユニットには、真空ポンプ、温度コントローラ、プロセス監視システム、レシピ、およびプロセスパラメータを制御するPLC、およびエッチャーへの電力が含まれています。東京エレクトロンVigusには6つのプロセスガスがあり、精密な流量、速度、圧力でプロセスチャンバーに供給できます。これにより、エッチング/アッシュ処理を精密に制御し、複数のウエハを同時に処理する際に、厳密な均一性と再現性を実現します。プロセスの目視検査のために石英ビューポートが提供されています。Vigusはまた、多くの追加のプロセスと機能を統合しています。プロセスの再現性を確保するために、ウェーハストレージ、ロード、アンロードのスタッキング機構を利用できます。In-situ計測機能により、外部計測を追加することなく、正確なプロセス制御が可能になります。プロセスレシピは、RS232Cインターフェイスを介してPCから迅速に調整および送信することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Vigusの真空チャンバーには差動ポンプが装備されています。これにより、高速ポンプダウン時間と非常に安定した低圧環境を実現します。環境チャンバーは最大200mmの基板に対応でき、オプションの大型バッチプレート（400mm）を追加できます。これにより、TEL Vigusは幅広い基板を柔軟に加工できます。TOKYO ELECTRON Vigusは、幅広い基板加工が可能な信頼性の高い精密エッチャー/アッシャーです。これは高度なプロセス制御と均一性を提供し、ユーザーが望む再現可能なプロセス結果を達成することができます。