中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293826900 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vigusは精密プラズマエッチングやレジストアッシングに使用されるエッチャー/アッシャーです。優れた精度を提供するように設計されており、高精度エッチングのニーズに最適です。これは、その焦点ビームのために非常に微細な解像度でエッチングすることができます。TEL Vigusにはレーザーベースのエッチング装置があり、幅広いエッチング速度で校正することができます。酸素、アルゴン、窒素など様々なガスでエッチングすることができ、ユーザーのニーズに応じて様々なパターンを作成することができます。また、エッチプロファイルを変更してパターンパフォーマンスを最適化することもできます。このマシンには、複数のビーム源からの信号を分析し、統合されたエッチングプロセスを最適化する能力を備えた高度な制御システムが装備されています。パターン精度誤差の低減とエッチング結果の再現性の向上を実現します。また、誘電ゲート機能を備えており、パターンエッチングが敏感な機能に近い状態で発生するのを防ぎます。TOKYO ELECTRON VIGUSは、高解像度のレジスト除去結果を生成することができるレジストアッシングマシンを備えており、高精度エッチング要件に適しています。このエッチャーは均一な抵抗の取り外しの厚さおよび速度を提供できます。また、高圧プラグを必要としない低汚染物質アッシングツールを提供し、最小数の粒子で信頼性の高い効率的なエッチング結果を提供します。Vigusは使いやすい操作で使いやすいコンパクトで軽量なエッチャーです。また、煙や臭いを発生させないため、実験室で簡単に保管することができます長持ちし、控えめなデザインを特徴としています。さらに、比類のないエッチング速度を提供する高出力ビームを備えています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Vigusは、精密エッチングに求められる信頼性と効率性の高いエッチング品質を提供する高度な品質のエッチング/アッシャーです。要求の厳しいエッチング用途に最適な幅広い機能を提供し、堅牢な制御資産により高精度を保証します。エッチングやアッシングの様々な分野に適しており、煙や臭いを発生させることなく、優れたエッチング結果を提供します。