中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293630270 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vigusは、高性能で高精度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高度なドライエッチング、高度な堆積、高精度の計測などの高度な技術を利用しています。デバイス開発、耐久性評価、デバイス製造などのアプリケーションに使用できます。高度なドライエッチングにより、高い選択性と高精度のエッチングが可能です。このユニットには、ユーザーがニーズに合わせてエッチングプロセスをカスタマイズできる複数のエッチングガスが付属しています。高度な成膜により、誘電体や導電性材料の高速、高品質、安定した成膜が可能です。高速エッチングと蒸着によりスループットが向上し、高精度な計測が品質管理を確実にします。TEL Vigusエッチャー/アッシャーは、学習と操作が簡単な直感的なユーザーインターフェースを備えた自動マシンです。また、幅広い制御システムをサポートしており、圧力、温度、その他のプロセス変数などのプロセスパラメータを最適化することができます。このツールには、プロセスパラメータやその他の運用情報をリアルタイムで記録する高度なプロセスモニタリングアセットも装備されています。様々な環境マネジメントシステムを搭載し、安全な運用を実現しています。これらのシステムには、直流電源、パルス発生器、ガス供給装置、および不正アクセスや変更を防止する安全インターロックが含まれます。TOKYO ELECTRONビガスエッチャー/アッシャーシステムは、複雑な形状と高いアスペクト比を持つデバイスの製造に適しています。また、ウェーハの大小の範囲を処理するための柔軟性を持っています。このユニットは、高性能のコンピュータネットワーク上で動作し、プロセス制御とデータ収集のための様々な生産システムに接続することができます。Vigusエッチャー/アッシャーマシンは、高品質のデバイスのエッチングと堆積のための信頼性と効果的なデバイスです。半導体産業やエレクトロニクス製造の様々な用途向けに、効率的かつ精密なデバイスの製造を提供します。このツールは、製造業者が生産コストを削減し、製品品質を向上させるのに役立ちます。