中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293592518 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vigusは、シリコンウェーハ基板のパターニングに使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチングの深さと角度を極めて精密に制御し、高速パターニングが可能です。TEL Vigusは、革新的な設計により、半導体デバイスの開発のための微細構造と深溝のエッチングを可能にします。TOKYO ELECTRON VIGUSは、ディープエッチングとプラナーエッチングの両方を利用した垂直電気化学（EC）エッチング装置で、独自のマルチステージドライエッチング（DE）機能を搭載しています。半導体メーカーが高分解能構造や各種エッチングジオメトリを作成するのに役立つように設計されています。これは、シリコン基板に曲線および非標準の形状をパターン化することができます。Vigusは、インストールと操作が簡単なオペレータフレンドリーなシステムであるように設計されています。インクジェットコントローラを内蔵したインクジェットプロセスを使用して、露出、ドウェルタイム、リンス、クリアなどのパラメータを調整できます。ポールツーポール、露出、背景など、さまざまな特性を調整できます。さらに、このユニットはリアルタイムレシピビジュアライザを備えており、エッチング処理中にユーザーにフィードバックを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON VIGUSは、高性能ACを駆使した縦型多段式電気化エッチング機で、高度に自動化された精密なエッチング処理を実現しています。TEL Vigusは高度な制御機能により、酸化物、酸化ケイ素、ガラスなどの幅広い材料を処理できます。迅速かつ精密なエッチング処理により、高い精度で低アスペクト比の構造を容易に加工できます。TOKYO ELECTRON VIGUSは、精密かつ費用対効果の高い加工ニーズを求める半導体ウェーハメーカーに最適な、信頼性と効率の高いエッチング資産です。オールインワンで操作しやすい設計で、ユーザーが高精度で再現性のある複雑なパターンを作成できるようになります。さらに、この装置は、信頼性と効率性を兼ね備えたダイレクトツーチップ、マルチステージプロセスにより、今日市場で入手可能な数少ないエッチングシステムの1つです。