中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus RK2 #9276793 を販売中

ID: 9276793
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Oxide etcher, 12" 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS RK2は、TELが開発・発売したエッチャー/アッシャーです。TEL Vigus RK2は、高度な走査型電子顕微鏡(SEM)技術により、幅広い素材や基板を精密にエッチング、開発、分析することができます。TOKYO ELECTRON Vigus RK2の中心には、独自のドメイン開発ソフトウェアがあります。さまざまなドメイン操作プロファイルから選択することで、ユーザーはエッチングプロセスを特定の要件に合わせてカスタマイズできます。各プロファイルは、ユーザーが最適な結果を確保するために、圧力、温度、化学データ、およびその他のパラメータの範囲から選択することができます。Vigus RK2には、強力で効率的なツールになるさまざまな機能があります。チャンバーの温度と圧力は、プロセスの一貫性を確保するために、リアルタイムで積極的に管理および監視されます。ユーザーの要件に応じて、床面トレンチや最適化された基板冷却などの追加機能を追加できます。また、ウェーハの高度な監視機能も備えています。ウェーハスカートは、より大きなウェーハサイズを処理するために不可欠であり、汚染を防ぐために自動、単色、動的に調整されます。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus RK2は、包括的なモダンなインターフェースを備えています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えており、ユーザーにフレンドリーで明確な情報を提供します。制御を最大化するために、さまざまな多言語設定が利用可能です。東京エレクトロンは、さらなる品質保証措置として、機器性能の最高水準を維持するための遠隔管理サービスを提供しています。Webベースのサポート、エンジニアリングサービス、プロセスの最適化などのサービスのポートフォリオでは、お客様は機器がピーク効率で完璧に実行されることを知ることができます。TEL Vigus RK2は、お客様がTEL/TOKYO ELECTRONに期待する品質とパフォーマンスを提供します。フロアレベルトレンチ、ユーザー定義ドメイン操作、動的ウェーハ管理、温度および圧力制御などの機能と組み合わされた洗練されたSEMテクノロジーは、比類のないパフォーマンスと制御を提供します。TOKYO ELECTRON Vigus RK2は、品質保証対策や包括的なユーザーインターフェースなどの追加機能を備え、幅広い素材や基板をエッチング、開発、アッシングする必要があるお客様に最適なソリューションです。
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