中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus QN #293666858 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus QNは、高度な半導体デバイス処理用に設計されたエッチャー装置です。TEL VIGUSのダイレクトライトリソグラフィ法をベースに、シングルウエハードライエッチング、パターニング、コーティングなど、さまざまなプロセスを備えています。このシステムは、シリコン、ステンレス、複合材料など、幅広い基板に対して幅広い精密エッチング動作を行うように設計されています。高度なダイレクトライトリソグラフィープロセスは、電子ビームパターニングを利用して、基板上に非常に高い精度、再現性、および高度に設定可能なパターンを作成します。これにより、非常に高いアスペクト比でも優れた精度と再現性が得られます。TEL Vigus QNは、高速スループットを実現する大型4トラックパターンジェネレータを搭載しています。これにより、異なる基板を同時にエッチングすることができ、生産性が向上します。また、より高いエッチング精度を提供するために、フォーカスイオンビーム（FIB）ソースを使用して設計されており、堆積、エッチング、犠牲層などのさまざまな部位後処理モジュールに使用できます。TOKYO ELECTRON Vigus QNには、エッチングプロセス制御を改善するさまざまな機能も含まれています。これらには、精密な圧力制御ユニット、堅牢な真空機械、温度フィードバック制御ツール、およびクローズドプロセス監視アセットが含まれ、さまざまな基板にわたって一貫したエッチング結果を保証します。このモデルには、データ分析、レビュー、意思決定プロセスを容易にするためのさまざまなハードウェアおよびソフトウェアソリューションも含まれています。要約すると、Vigus QNは、幅広い基板に精密エッチング機能を提供するように設計された先進的なエッチャー装置です。ダイレクトライトリソグラフィを使用し、正確で再現性があり、高度に設定可能なパターンを可能にします。高精度エッチングを実現するための高度な機能と、効率的で信頼性の高い操作を確保するためのさまざまなツールや機能を備えています。