中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus Nest #293585745 を販売中
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ID: 293585745
Etchers
TAC-3WWZZWW Power rack
(2) Loader modules
PM5
PM2
PM6
PM1, PM2, PM5:
TEL / TOKYO ELECTRON DC Power unit assy
SHIMAZU TMP-W3503LMC(T2) TMP
VAT 65048-JHGH-AX01 APC
MKS 722A21TGA2FA TMP PT Sensor
MKS 51A11TGA2BA010 VAC Pressure switch
MKS 41A130GA2AA040 ATM Pressure switch
(2) SMC XIAQ-25-X884 V36, 37 VAC Valves
SMC XLAQ-16HO-XO Gauge VAC valve
SMC CQEB-S63-44 5S-DCI825GI Shutter air cylinder
TEL / TOKYO ELECTRON V1Y-50-1024 EPD Sensor
TEL / TOKYO ELECTRON SE2000T EPD Controller
TEL / TOKYO ELECTRON SE2000-1M EPD Fiber
INFICON BPG-400 BA Gauge
MKS DMARETGAEKNV633 CM1
MKS DMA11TGAEKNN633 CM2
HORIBA GP-Z104-C HE PCV Center
HORIBA GP-Z104-F-2 HE PCV Edge
CKD TPR4-05-A100T-X0005 Gas flow splinter
MKS MW2-500340 Dual matcher
MKS GEW-3540 HF Generator
KYOSAN HV-PS8 HV Power supply
RKC RCB-88-2 Temperature cont box
JRC NFH-247 Heater filter
KYOSAN TW6 RF Filter
HORIBA IT-4700 Top thermometer
TEL / TOKYO ELECTRON Valve box assy
TEL / TOKYO ELECTRON TAB22E-1/LOW-LF LOW/PURF Board assy
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF LOW/PURF Board assemblies
TEL / TOKYO ELECTRON TYB22D-1/UP-LF UP Board assy
TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF UP Board assy
TEL / TOKYO ELECTRON TAB229-*/GAS2 UP Board assy
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF Gas board assemblies
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB313-1/DND Gas board assemblies
RF Rack 1,2 (PM1, PM2, PM5, PM6):
SHIMADZU EI-D3503M-TV2 TMP Controller
MKS B-5303 LF Generator
TEL / TOKYO ELECTRON PR-IF PM V2E PR IF Box
KYOSAN HPK06ZI-TE4 DC Power supply
SHIMADZU EI-D3503M-7V2 TMP Controller
MKS B-5303 LF Generator
TEL / TOKYO ELECTRON PR-IF PM V2E PR IF Box
KYOSAN HPK06ZI-TE4 DC Power supply
TEL / TOKYO ELECTRON Water leak box
TEL / TOKYO ELECTRON PCW Line (Supply.return)
RF Rack 1,2 (PM1, PM2, PM5, PM6): TEL / TOKYO ELECTRON E2B030-12/KVD FPDIF
Missing parts
PM1: Top valve box cover
PM2:
Front cover side fan
TAB229/Gas2 Board cover
Top valve box cover
PM5:
TAB229/Gas2 Board cover
Chamber right: Duct cover
Top valve box cover
AC Dist 1, 2:
KYOSAN J-P33C33G33G33-HH-HPA AC Rack
(2) FUJI ELETRONICS SA203CUL Main breakers 1, 2
FUJI ELETRONICS EA103CUL CVCF Breaker
DENKEN SEIKI NCT-F5 Transformer
TEL / TOKYO ELECTRON TAB343-1/AC Board.
TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nestは、半導体・太陽光発電産業のアプリケーション向けに設計されたドライエッチングツールです。エッチングや成膜などのドライプロセス用に設計された高性能ツールです。TEL Vigus Nestは、シリコン、ゲルマニウム、ポリシリコンなどのエッチングが可能です。このツールには、メインエッチングチャンバーとロードロックチャンバーを含む2つのメインチャンバーが装備されています。メインチャンバーには上下抵抗加熱プラテンユニット、ロードロックチャンバーには単一の抵抗加熱プラテンユニットがあります。加熱プラテンユニットは、1つのバッチプロセスでウェーハの両面をエッチングし、スループットを向上させるために使用できます。このシステムは、再現可能な結果を得るために、温度と基板の安定性を制御することもできます。また、独立した制御プロセッサを搭載したマルチゾーンRFプラズマトロンを使用し、プラズマの電力密度とエッチング条件を正確に制御します。このツールは合計8つのRFプラズマトロンを備えており、最大出力は25kWです。また、パルス、一定の流れ、およびクローズドループのマスフロー制御モードで動作する3つのガスインジェクタを備えています。これにより、エッチプロセス設計の柔軟性が最適な結果を得ることができます。このツールには、レシピ開発、パフォーマンス監視、オペレーティングシステム診断用のソフトウェアも付属しており、ユーザーはVigus Nestの機能を最大限に活用できます。このソフトウェアは、複雑なエッチングプロセスのための簡単なプログラミングを可能にし、簡単な参照のための包括的なデータメンテナンスを提供します。ユーザーはエッチングデータやその他のプロセスパラメータを追跡することもでき、エッチングプロセスを最適化するための貴重な洞察とフィードバックを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nestは、半導体・太陽光発電業界の幅広い用途に適した汎用性の高いエッチングツールです。高いスループットで正確なエッチング処理を可能にする優れた制御と再現性を提供します。包括的なソフトウェアは、最適化とデータメンテナンスのための包括的なプラットフォームを提供し、ユーザーが最高の結果を達成するのに役立ちます。
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