中古 TEL / TOKYO ELECTRON VIGUS MASK #9241307 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASKは、TELの最先端エッチング装置です。集積回路、半導体デバイス、その他のマイクロエレクトロニクス部品の製造に使用される非標準のリソグラフィーシステムです。薄膜の化学エッチング、表面前処理、半導体基板の各種化学処理に使用されます。主に、金属やポリシリコン層などの半導体材料のパターンエッチングおよびエッチング関連処理に使用されます。時間を節約し、化学廃棄物を最小限に抑え、生産スループットを最適化するように設計されています。TEL VIGUS MASKは、機械の主成分である高性能カソード線管（CRT）を搭載しています。このCRTは、ウェーハ上のフォトリソグラフィックマスクを細かく投影します。フォトマスクはクロムなどの不透明な素材で作られており、望ましいデバイス構造のイメージでパターン化されています。マスクは特別な治具によって所定の位置に保持され、CRTはマスクとウェーハに明るい光を投影します。投影される光の強度はマスクの光学特性によって異なり、ウェーハにエッチングされるパターンを正確に制御することができます。東京エレクトロンVIGUS MASKには、フォトレジストの硬化やその他の化学処理に使用される紫外線光源が搭載されています。また、ウェーハの洗浄・脱離やエッチング前の前処理にも使用できます。さらに、VIGUS MASKはエッチングソフトウェアで構成されており、ドウェル時間、ウェハ温度、エッチング濃度などのエッチングプロセスパラメータを調整できます。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASKは、裏面スパッタアルミニウムチャンバーを採用し、外部汚染を防ぎます。また、反応性イオンエッチャーによって生成される絶縁酸化皮膜層を備えており、エッチング中の薄膜層の酸化を防ぐのに役立ちます。このツールは非常に信頼性が高く効果的であるように設計されており、有毒な排出物や廃棄物を最小限に抑えながら高度なエッチング機能を提供します。結論として、TEL VIGUS MASKは、幅広い機能と機能を提供する高精度エッチング資産です。半導体製造に最適で、様々な薄膜やマイクロエレクトロニクス部品の正確かつ効率的なエッチングが可能です。また、この装置はコスト効率に優れているように設計されており、廃棄物の削減とスループットの最大化に役立つ多くの機能を提供しています。