中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus L/S #293666857 を販売中

TEL Vigus L/Sは、微細加工アプリケーションにおける性能と信頼性で有名なエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、濡れたプロセスと乾いたプロセスの組み合わせを使用して、さまざまなレベルの複雑さにサーフェスをパターン、エッチング、露出、および/または変更します。TOKYO ELECTRON Vigus L/Sは、精密デバイス部品からナノスケール材料まで、多様な構造物の定期的な生産に最適なエッチング速度を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON L/Sは、シリコン、二酸化ケイ素、ガラス基板から有機ポリマー箔まで幅広い基板に適しており、金属やセラミックなどの他の材料にも使用できます。装置はエッチングガスを導くために特別な処理室を使用しますが、加熱されたシャワーヘッドはすべてのパラメータの均一性を保証します。また、正確で反復可能な結果を得るための高度なユーザーコントロールとフィードバックシステムを備えています。装置のエッチング速度は10nm/minまで達することができます。エッチングの精密制御を可能にします。TEL Vigus L/Sはまた、ガス流量、圧力、温度、露光時間などの幅広いプロセスパラメータを提供し、側面の表面ステップを維持しながら浅い特徴をエッチングする柔軟性を備えています。このデバイスは、ユーザーフレンドリーな設計と高度な安全機能を備えています。低電圧の主電源と排気機能により、保護が強化されています。さらに、このデバイスは、製品の品質と安全性を確保するのに役立つ統合された品質監視システムを持っています。TOKYO ELECTRON Vigus L/Sは非常に柔軟で、特定のアプリケーションの要件に合わせて調整することができます。このデバイスは高解像度を提供し、再現性と信頼性の高い結果を提供するために最適化することができます。表面材料のパターニング、エッチング、露出を必要とする幅広いプロジェクトに最適です。このデバイスは、リソグラフィーシステムの補助として機能するか、スタンドアロンエッチャーとして機能することができます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Vigus L/Sは、微細加工アプリケーションのすべての要件を満たす信頼性の高い強力なエッチャー/アッシャーです。高速エッチング、高度なプロセスパラメータ、ユーザーの安全機能、統合された品質監視システムにより、さまざまなプロセスに最適です。