中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9351473 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Harcは、微細加工技術を必要とする半導体、エレクトロニクス、その他の業界で幅広い用途に使用される最先端のエッチングおよびアッシングツールです。高精度のエッチングとアッシングを、可変電力と熱機能で提供する完全自動化されたツールです。この装置は、オプションの蒸着および蒸着エッチング処理も提供します。TEL Vigus harc etcher/asherは、32ビットRISCプロセッサと独自のGUIソフトウェアによって制御されます。GUIソフトウェアを使用すると、オペレータはプロセスパラメータを簡単に設定および監視できます。このシステムのユーザーフレンドリーな設計により、ユニットは簡単にカスタマイズ可能であるため、オペレータは複数のetcboresのような高度な製造技術にアクセスすることができます。TOKYO ELECTRON VIGUS HARCマシンは、エッチングやアンダーエッチングを防ぐために設計された様々なアジテーションスキームを備えています。エッチングとアッシングは、ウェット環境とプラズマ環境の両方で行うことができます。このツールはまた、エッチングとアッシングのプロセス中に正確な温度均一性を可能にする熱資産を備えています。Vigus Harcモデルには、バックフィルや熱処理、緊急警報、トリプルパワースイッチなどの高度な安全対策が装備されています。また、電気ショックやガス毒性レベルからオペレータを保護するための安全メカニズムが内蔵されています。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Harcシステムは柔軟性と汎用性に優れ、特定のエッチングおよびアッシングプロセスのカスタマイズが可能です。このユニットには、各ユーザーの特定のニーズに合わせてカスタマイズし、プロセス最適化のために調整することができるオープンアーキテクチャソフトウェアも含まれています。TEL Vigus Harcマシンは、バックエッチング用途に使用される同様のエッチング剤を使用しており、ガラス、セラミック、ポリマーなどさまざまな基板に使用できます。このツールはまた、特別なパージシステムを必要とするものを含む、標準および高度なプロセスの範囲をサポートしています。また、ヘリウム、アルゴン、窒素、水素など様々なプロセスガスに対応しており、多くの業界にとって理想的なエッチング・アッシングソリューションとなっています。