中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9244886 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Harcは、半導体などの薄膜材料などの貴重な基板の極めて精密なエッチングおよび洗浄に使用されるエッチャー/アッシャーの一種です。TEL Vigus Harcは、インライン設計のウェットベースのシステムで、より高いスループット速度、より広い処理ウィンドウ、より優れた均一性を実現します。このマシンはデュアル真空エッチングチャンバーで設計されており、各プロセスチャンバーを完全に分離してエッチング/クリーニング作業中に最大限のプロセス柔軟性を実現します。これにより、1つの動作からの蒸気がもう1つに引き継がれないようにし、他のチャンバーで処理中に発生する化学物質や蒸気の影響を受けないようにします。TOKYO ELECTRON VIGUS HARCは、独自の方向軸流設計を採用しており、均一性を重視した高い歩留まりを保証し、精度の高いプロセスを実現しています。これは、プロセス液体の指示された流れとチャンバーの中心軸に沿ってガスをエッチングすることによって達成されます。基板はチャンバーの中央に配置され、エッチングまたは洗浄プロセスの最大限の均一性と適用が可能です。この機械には、原子炉のガス分配ユニット、温度制御、電子作動バルブ、外部スクラバー付き不活性ガス制御、高性能真空システムなど、操作と安全のためのさまざまな高度な機能が装備されています。機械の電気連結可能なドアは安全で、安全な操作環境を保障するのを助けます。要するに、Vigus Harcは、半導体などの繊細な基板の精密エッチングおよび洗浄に使用される洗練されたエッチャー/アッシャーです。その新しいデュアル真空エッチングチャンバー、方向軸流設計、高度な機能により、高速、均一で安全なエッチングおよびクリーニング操作のための貴重なツールとなります。