中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9241305 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Harc(エッチャーまたはアッシャーとも呼ばれる)は、マイクロおよびナノ電子デバイスの製造に使用される先進的なプラズマエッチング装置の一種です。非接触プロセスを使用して、金属、ポリマー、半導体層を制御された環境でエッチングします。エッチングプロセスは、通常、大規模から顕微鏡まで、さまざまな形状とサイズのパターンを達成するために使用されます。TEL Vigus Harcは、精密エッチングのためにさまざまな技術を使用しています。この機械は、高度なイオン光学系を利用したプラズマ励起真空エッチングシステムと、最適な制御と性能のための正確なフォーカシングシステムです。また、エッチングシステムは高い制御性と柔軟性を備えており、ユーザーはエッチング速度、エッチング深度、エッチング時間を選択して最大の精度と精度を達成することができます。このマシンは、密閉ループの真空環境で動作します。つまり、イオン爆撃やエッチングからクリーニング、マテリアルハンドリングまで、エッチングプロセスのすべてのステップが同じ密閉チャンバーで行われ、複数のマシンが不要になり、最大限の効率と精度が得られます。TOKYO ELECTRON Vigus Harcは、高度な安全機能も備えています。この機械には、ガスのレベルやその他の安全条件を常に監視するセンサーを含む、複数の防止層を備えた自動安全メカニズムが装備されています。高度なユーザーインターフェイスと最先端のソフトウェアは、エッチング処理が安全で効率的であることを保証します。Vigus Harcは、高品質のマイクロおよびナノ電子デバイスを製造することができる強力で精密なエッチング機です。その高度な安全機能、精密な制御システム、およびクローズドループの真空環境は、効率的で正確で信頼性の高い機械を作成するために組み合わされています。
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