中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vesta #9315096 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vestaは、半導体産業向けに設計された高性能エッチングマシン（またはアッシャー）です。プラズマエッチングとボンディング技術を組み合わせて、シリコンウェーハやその他の基板の表面に精密で反復可能な特徴を作り出します。この機械は、熱制御、冷却、および追加の安全のための追加のコンポーネントとともに、ベース、プラズマエッチングチャンバー、ボンディングステーションで構成されています。プラズマエッチングチャンバーは、反応材料、典型的にはテフロンアノードと加熱陰極を収容します。チャンバー内にプラズマが発生し、基板のエッチングを制御できます。チャンバーはガス制御システムに接続されており、チャンバの動作に必要な反応ガスを導入することができます。ボンディングステーションは、ワイヤーボンディングを介して個別の部品の接合を可能にし、完成品のより高い構造的完全性を提供します。温度センサはシステム全体に配置されており、チャンバーとワークの正確な温度制御が可能です。TEL Vestaは真空環境で動作するように設計されており、最も一貫した正確なエッチングを提供します。これにより、エッチング速度とプロファイルの制御が向上し、エッジ定義と再現性が向上します。高度なモーションコントロールにより、最大600万分の1の幅で正確に機能をエッチングできます。この機械には、オペレータを保護し、チャンバーの過剰加圧による損傷を防ぐ一連のガスセンサーや圧力リリーフバルブなどの安全機能も装備されています。機械は大きな金属フレームに完全に囲まれており、動作中の最大限の保護を可能にします。TOKYO ELECTRON VESTAは、信頼性の高い動作と一貫した結果を提供する最先端のエッチングおよびボンディングシステムです。高度な制御と安全機能により、半導体業界におけるシリコンウェーハやその他の基板上の高品質な機能の製造に適しています。