中古 TEL / TOKYO ELECTRON Vesta #9244884 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Vestaは、半導体ウェーハの加工を容易にするために設計された高効率エッチャー/アッシャー装置です。ウェットエッチング、ドライエッチング、プラズマエッチングなど、さまざまな処理能力を提供します。コンパクトで革新的な設計により、設置が容易で設置面積が小さく、堅牢な構造により、信頼性と耐久性に優れたシステムです。このユニットは汎用性が高く、ドライエッチングとウェットエッチング、プラズマエッチングの両方に使用できます。ガスフロー、圧力、温度、および高度なウエハトラッキングおよび設定可能なプロセスプロトコルのマルチレベル制御を備えています。これにより、任意のウエハを正確に処理できます。このマシンはまた、エッチング環境を制御するための最先端のメカニズムを提供し、一貫した精度を維持します。その組み込みの安全メカニズムは、人員と機器を保護するのに役立ちますが、その信頼性と頑丈な構造は、長期的な信頼性を保証します。TEL Vestaは手動操作と自動操作の両方を備えており、柔軟で信頼性の高い使用が可能です。手動操作に関連する機能には、温度、圧力、ガスの流れを制御する機能があります。自動化された機能は、リアルタイムのプロセス制御と自動化された再循環を提供します。これにより、ツールはプロセス全体にわたって精度を維持することができます。アセットには、ユーザーフレンドリーでカスタマイズ可能なさまざまなプロセスレシピも含まれています。これにより、エッチングパラメータへの迅速かつ簡単なアクセスが容易になり、便利で効率的なプロセスが保証されます。このモデルはまた、データストレージを可能にし、オペレータが任意のコンピュータから保存されたレシピに便利にアクセスできるようにします。TOKYO ELECTRON VESTAは、用途ごとにカスタマイズできる、幅広い機器オプションを提供しています。その強力なハードウェアおよびプロセス制御ハードウェアは、高速で正確で再現性のあるプロセスを提供し、大容量のチャンバー径は広範囲のウェーハサイズを可能にします。これにより、非常に汎用性の高いシステムになります。全体として、Vestaは革新的で強力なエッチャー/アッシャーユニットであり、半導体ウェーハの正確で再現性のある安全な処理を提供します。その高度な機能、ユーザーフレンドリーなプロセス、幅広いオプションにより、あらゆるエッチングアプリケーションに適した強力で柔軟なマシンです。