中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9316187 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9316187
Metal CVD system, 8"
Process: TiN
Main body
Power supply
Power rack
EDWARDS TDV4 System
(2) Traps
Cable
Panel
Accessories.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITYは、フルシールされたウェーハを製造するエッチング/開発機です。このツールは、化学機械研磨のためのパターン、エッチング、および堆積材料に使用されます。高度な半導体デバイスの作成に適した平面をウェハに提供することができます。この機械は高解像度のパターンを生成することができ、新しいデバイスの開発を可能にします。ウェットエッチングとドライエッチングの両方に対応し、エッチング機構により、加工ウェハ内の材料層の形状と厚さを正確に制御できます。また、その大きなチャンバーは、高スルーポットを可能にします。TEL Unityエッチャーは、メインエッチングチャンバーとプリエッチングチャンバーで構成され、同じサイクルで複数の操作を行うことができます。メインチャンバー内では、基板にイオンを注入してエッチングします。メインチャンバーには可動ロボットアームも装備されており、プレエッチングチャンバーを含む基板を1つのチャンバーから別のチャンバーに転送するために使用されます。基板は、エッチング処理が行われるメインチャンバーにロードされます。エッチング工程は、CF4などのガス混合物をエッチング室に導入することから始まります。ガス混合物は、次にイオンに侵入するためにイオン化され、基板に向けられます。イオンは基板と反応してエッチングして成形します。このプロセスは、エッチングの深さと側面の角度が正確であるように制御することができます。エッチングが完了すると、エッチング溶液はメインチャンバーから洗い流されます。その後、ウェーハをエッチング後のチャンバーに移し、化学機械研磨やレジストストリップなどの下流工程に使用されます。TOKYO ELECTRON Unity Etcherは、精密エッチング機能と高スループプットを提供するため、半導体デバイス開発に最適なツールです。精密で正確なパターンとレイヤーの種類を生成する能力は、最先端のデバイスを開発するための理想的な選択肢となります。
まだレビューはありません