中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9176469 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITYは、完全に統合されたウェットエッチングとアッシング機器です。この業界をリードするエッチャーとアッシャーは、長期間の安定性と低メンテナンス要件を備えた信頼性の高い処理をユーザーに提供します。TEL Unityシステムは、ハイエンドのウェットエッチング技術を活用し、幅広い基板や材料表面の加工を行っています。ウェットエッチングプロセスは、純水、水溶液、蒸気エッチング剤などのイオン化エッチング媒体を使用して、表面洗浄、パターニング、および/または層転写のための不要な材料を効果的にエッチングおよび除去します。アッシング工程は、ドライエッチング工程を利用して、材料の層を剥ぎ取り、パターンと特徴を作成します。TOKYO ELECTRON UNITYユニットは、小型ベンチトップシステムから大型生産システムまで、幅広い加工チャンバーサイズを採用しています。また、各種プロセスガスやケミカルデリバリーシステムにも対応しており、ウェットエッチングとドライエッチングの両方が可能です。ユニティツールは、空気由来のウルトラフィルター、ケミカルフィルター、ケミカルエキゾーストスクラバーなどの高度な安全機能を備えています。さらに、このモデルは、危険な操作のためのSEMI保護基準に準拠しています。TEL/TOKYO ELECTRON UNITYは、プロセスフローやパラメータ入力、プログラム管理、データ表示などの設定・制御が容易なグラフィカルユーザインタフェース（GUI）を内蔵しています。また、プロセスレシピ管理とデータアーカイブを統合し、トレーサビリティを向上させます。内蔵ディスプレイにより、各プロセスの進行状況をリアルタイムで監視し、それに応じてパラメータを調整できます。TEL Unityユニットは、プロセス監視や制御システムなど、さまざまな外部システムとの連携も可能で、自動化と効率化を図っています。TOKYO ELECTRON UNITY MACHINEは、さまざまなウェットエッチングおよびドライエッチング作業において、高性能、信頼性、低メンテナンス処理を実現するための理想的なソリューションです。高度な安全機能、堅牢なチャンバー構造、ユーザーフレンドリーなGUIを備えたUnityツールは、半導体、データストレージ、および高度な材料処理において人気のある選択肢となっています。