中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9146219 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITYは、半導体プロセスで使用される重要なエッチング装置です。これは、高度な材料エッチングと成膜プロジェクトを実行することができます単一のウェーハ乾燥プラズマアッシャーが装備されています。このシステムは、優れたパフォーマンス、信頼性、生産性を重視した画期的な新しいアップグレード設計を備えています。エッチングユニットは、複数のプロセスを1つのモジュラーマシンに統合し、効率的で自動的な化学交換プロセスを実現します。TEL Unityは、真空チャンバーの内側が清潔で不活性な素材でできています。後部に接続されたターボ分子ポンプによって、室内に避難した雰囲気が確立されています。内部には、可動電極ホルダーがサンプルを所定の位置に保持します。PMAC （Power Monitor and Control）を使用すると、エッチングプロセス全体で正確な電圧、電流、周波数変調制御が可能になります。このプロセスは、15以上のプロセスレシピを備えたオンボードプロセスライブラリを備えたタッチスクリーンユーザーインターフェイスを介して制御されます。このツールはSEMI規格に準拠しており、インターフェイスはお客様のオートメーションシステムと互換性があります。ECOモードの動作は、最適な処理時間とコストを確保するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON UNITYには、資産の信頼性と効率性を高めるさまざまな機能があります。オートコンディショニング技術は、ユーザー定義のパラメータに基づいてコンディショニングを制御することにより、手動計画を排除します。さらに、水晶ポリシリコンウェハエッチモードは、高い異方性と非常にタイトなプロファイル制御を実現します。エッチング結果の均一性は業界をリードする側面です。複雑な形状であっても、プロファイル制御とフィーチャーの並列性は厳しく、要件内で維持されます。Unityは簡単にメンテナンスでき、交換可能な消耗品とリモートのトラブルシューティング機能を備えています。エッチングモデルは、再現性とメンテナンス性を考慮して設計されているため、ユーザーは複数のウェハ上で正確に同じエッチング条件を再現することができます。さらに、ユーザーは、PMACコントローラの監視装置を介して問題が発生したことを警告します。プロセスフィードバックシステムのおかげで、ユーザーはリアルタイムでエッチングレシピを追跡できます。TEL/TOKYO ELECTRON UNITYは、パワフルで汎用性の高いエッチングユニットです。高度なエッチングおよび蒸着プロジェクトに最高レベルの性能、信頼性、コスト効率を提供します。最新の技術で設計されているため、ユーザーはエッチング処理が再現可能であり、結果が均一で最適化されていることを確認できます。