中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9142639 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITYは、半導体製造の最先端エッチャー/アッシャーです。現在の高度な半導体技術に優れた高精度エッチングとアッシング性能を提供するよう設計されています。このプラットフォームはモジュール設計に基づいており、幅広いオプションで構成できるため、ほとんどの半導体プロセスに適しています。この装置は、ドライエッチング、ウェットエッチング、アッシング、バッファリング、モリブデンエッチングなどのさまざまなプロセスを備えており、より細かいプロセスのための高度なフィルムエッチング技術を組み込んでいます。また、すべてのエッチング工程において高精度、高精度、高耐久性、および優れた精度を提供するように設計されています。このシステムの設計は、効率的で信頼性の高い操作を保証するのに役立ちます。エッチャー/アッシャーには、危険な電界への暴露を最小限に抑える高密度ECRソースが含まれ、プラズマ最適化管理を含むエッチング性能を最大化するための包括的なプラズマソースユニットが装備されています。また、電源とガス制御値の調整、真空混合、基板とガスの比率管理など、さまざまなプロセスオプションを提供しています。これにより、プロセスの複雑さに関係なく、高精度のエッチングおよびアッシング操作が保証されます。さらに、このツールはメンテナンスフレンドリーでアップグレード可能です。ユーザーは、ECRソースの種類を変更したり、最新のソフトウェアやプロセッサでアセットをアップグレードしたりするなど、新しいプロセスやコンポーネントをセットアップに簡単に追加できます。また、リモートアクセス機能も備えており、ユーザーはモデルの技術データ、プロセス、情報データベース、および複数の場所からのサービスマニュアルにアクセスできます。TEL Unityは、優れた性能、信頼性、スケーラビリティ、および手頃な価格の半導体コンポーネントを製造するための強力なツールです。高度な機能と包括的なプロセス制御を組み合わせることで、今日の洗練された半導体プロセスに理想的なソリューションとなります。