中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #293665143 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY TEL/TOKYO ELECTRON UNITYは、高度なリソグラフィック生産と低容量プロトタイピングアプリケーションの両方のニーズに対応するように設計された高スループットのエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、ユーザーが特定のプロセスニーズに合わせてエッチャーを構成するための幅広いコンポーネントから選択できるモジュラー設計を備えています。エッチャー/アッシャーは、大きなチャンバーと高スループットを備えており、ユーザーは大きな基板を迅速に処理できます。機械にさまざまな基質の均等性および均一エッチングの深さを与える回転傾くサセプターがあります。エッチャー/アッシャーには、精密なプロセス監視と再現可能な結果を提供するクローズループセンサーも含まれています。TEL Unityは複数のガスやエッチングのレシピに対応しており、1台のマシンから異なる材料をエッチングすることが可能です。エッチャー/アッシャーに化学汚染を減らすきれいな設計があります；そのステンレス鋼の部屋およびポンプをかけられた排気システムは使用し易く、きれいにします。東京エレクトロンユニティには、ガスフローの自動制御やレシピの自動選択など、高度に自動化された機能があります。エッチャー/アッシャーは、直感的なコントロールと問題が発生した場合の自動安全シャットオフを備え、ユーザーフレンドリーで信頼性の高い設計です。ユニティは、高速銅コーティング、昇華、プラズマ活性化、およびその他の特別なプロセスツールなどの追加のアクセサリーで簡単に拡張できます。TEL/TOKYO ELECTRON UNITYは、高度な機能により、比類のない柔軟性と使いやすさをユーザーに提供します。