中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATC #9145468 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATCは、半導体デバイスのプロセス制御やパターニングに使用されるエッチャー/アッシャーです。すべての反応ガスと優れた互換性を提供する統合プラズマソース技術を搭載しており、幅広い機能とプロセス用途での精度を向上させます。このデバイスは、コンパクトで比較的軽量な設計で、ほとんどのラボ環境に適合できる小さなフットプリントを備えています。高解像度LCDにより、正確なパターニングとプロセス制御が可能です。Vera85 DPATCは、自動レシピベースのエッチングと高速で高解像度のリソグラフィ機能を備えています。これにより、より正確なパターンでより高速な生産サイクルが可能になり、ユーザーはより大きなエリアプレートを処理できます。また、プレート品質に微細なフィードバックを提供するためのイメージングシステムを内蔵しており、欠陥の少ない精密パターンを簡単に作成できます。その統合されたプロセスツールには、プラズマジェネレータ制御モジュール（PGD）、電源管理、およびプロセス監視用の分析センサーが含まれます。このエッチャー/アッシャーは、特にMEMS、オプトエレクトロニクス、HBMLアプリケーションなどのダイレクトパターニング転送（DPT）アプリケーション用に設計されています。その先進的なプラズマベースの技術は、シングルウェーハやオープンフレームエッチングなどの不揮発性材料に適しています。統合された高密度診断機能により、プロセスの最適化も可能になります。自動化されたシステム設計は、壊れた処理の可能性を低減し、高度なデータ処理プログラムは処理品質の詳細なレポートを提供します。Vera85 DPATCはまた、異なるプロセス制御タスクを実行することができる64ビットプロセッサを備えています。安定化、汚染防止、最適化などのプロセスシナリオを実行するようにプログラムすることができます。そのLEDタッチパネルは、各ランダムアクセスビットが最適化されたパフォーマンスのために異なるパワーレベルを持つように調整することができます。これにより、ユーザーはエッチング処理を正確に制御することができます。TEL UNITY Vera85 DPATCは、すべてのDPTアプリケーションに理想的なエッジエッチャーとアッシャーです。自動化されたシステムと高度な技術により、高品質な処理を行うための効率的で精密な機械となっています。そのユーザーフレンドリーなデザインと機能は、経験豊富なユーザーと初心者の両方に最適です。