中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI #293643508 を販売中

TEL Unity Ver。II 65DIは、半導体製造で使用されるウェーハのエッチングとアッシングを最適化するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。幅広いウエハサイズに対応できるため、エッチングやアッシング作業に多用途かつ効果的なソリューションとなっています。TOKYO ELECTRON Unity Ver。II 65DIの最大基板サイズは6インチ（150mm）です。最大1,150°Cの基板温度をサポートし、ウェーハの均一で反復可能なエッチングとアッシングを可能にするエアベアリングステージを備えています。リアルタイムの光学ビデオ監視装置があり、エッチングとアッシングのプロセスを観察し、品質保証を保証します。モニターシステムと自動負荷ユニットを組み合わせることで、プロセスを正確に繰り返し、実行、監視することが容易になります。エッチング/アッシングプロセスは、1組の自動ポジショナーとEGAゲートによって管理されます。EGAゲートは、エッチングのフラックス、圧力、深さを制御することができ、より正確な結果を得ることができます。さらに、オプションのイオンソースをユニットに追加することができ、基板のエッチングとアッシングを高速化できます。Unity Ver。II 65DIエッチャー/アッシャーは、高いスループットと効率を実現するように設計されています。エッチング速度とアッシング速度を向上させることで、エコノミータイムエッチング処理をサポートし、プロセス時間を短縮します。さらに、臭化水素（HBr）や塩素（Cl2）などの幅広いガスを使用して、非常に制御可能で一貫したエッチプロファイルを生成することができます。ユニットは、さまざまなオプションで拡張することができ、研究開発および生産アプリケーションの両方に適しています。TEL/TOKYO ELECTRON Unity Ver.69DI etcher/asherは、ウェーハや基板のエッチングとアッシングを効率的かつ高速かつ正確に行うソリューションです。その多目的な性質および自動制御機械はそれをあらゆるエッチングおよびashingプロセスのための大きい選択にします。