中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity SP #9284470 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY SPは、最小限の時間と労力で高品質のエッチング結果を生成するように設計された最先端の完全自動エッチャー/アッシャーです。汎用性の高い機器は、メインエッチャーユニットと1つのスチールプリエッチチャンバーで構成されています。メインエッチャーユニットは、温度調節可能な独立したホットゾーンとオープンフレームプロセスチャンバーを備えており、迅速なウェーハ交換を容易にします。プリエッチチャンバーには高流量ポンプが装備されており、高いエッチング速度と大きなスループットに達することができます。TEL Unity SPには手動操作モードと自動操作モードがあり、エッチングプロセスを完全に制御できます。タッチスクリーンインターフェイスとPCを含む制御システムは、すべてのエッチングパラメータの高精度を保証します。真空は高効率のターボ分子ポンプによって供給され、クリーンで高速なエッチング環境を実現します。TOKYO ELECTRON Unity SPには、排気や保護温度アラームなどの高度な安全機能も搭載されています。乾燥またはウェットエッチングを必要とするかどうかにかかわらず、システムは非常に効率的で、均一で、結果の再現性があります。Unity SPは、ナノメートル溝から基板全体に至るまで、最も複雑な基板をエッチングすることができます。さらに、高度な気候制御ユニットにより、高精度の高感度材料や基板の低温エッチングが可能です。また、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY SPは、エッジ形成を最小限に抑えた効率的で均一なエッチングを実現するために、高度な垂直および再循環ポンプを提供します。このポンプは、エッチング化学薬品と低い化学廃棄物の分配を保証し、高レベルのエッチング結果を提供します。外部チャンバーは、プロセスチャンバにエッチングガスを順次供給し、エッチング中にプロセスチャンバを避難させます。全体として、TEL Unity SPエッチャー/アッシャーは、市場で入手可能な最も正確なエッチング結果を提供するように設計された最先端の機械です。機能豊富な設計により、一貫したクリーンで高性能なエッチング結果を提供しながら、簡単で迅速かつ効率的な操作を可能にします。