中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDD #9300130 を販売中
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TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 8555 DDDは、高度な3次元半導体製品の量産において、最も高度な加工要求に応えるために設計された先進的なエッチャー/アッシャー装置です。これにより、製造メーカーは超高温で高精度でさまざまな材料を安全かつ効率的にエッチングおよびアッシャーすることができます。TEL Unity ME 8555 DDDは、優れたシステム性能と信頼性を確保するための高度な機能を備えた堅牢なプラットフォームで設計されています。ウェーハTracking-12 (WT-12)オプションにより、超精密なエッチングとアッシングのための正確なアルゴリズムを可能にします。オンボードハードウェア認証とフェイルセーフなハードウェアおよびサブシステムの冗長性により、一貫した信頼性の高い運用が保証されます。TOKYO ELECTRON UNITY ME-8555DDDは、シリコンなどの先端材料を活用し、様々な部品をエッチング・アッシャーしています。独立したDDD (Directed Dry Etch/Asher)チャンバを備えたこのユニットはオンデマンドで動作し、プロセス制御の強化、スループットの向上、サイクルタイムの短縮を実現します。また、低漏れデュアルチャンバー絶縁により、粒子沈着を低減し、プロセスの再現性を向上させます。TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDDは、ツール操作を合理化および自動化する独自のオペレーティングソフトウェアを搭載しています。直感的なタッチスクリーンコントロールパネルと内蔵のトラブルシューティングツールにより、8555を使いやすくし、リモートデータアクセスと更新を可能にします。さらに、その精密かつ一貫したガス分布により、超高速ランプの立ち上がりとランプダウン時間が可能になり、サイクルタイムを短縮できます。とりわけ、Unity ME 8555 DDDは、最も要求の厳しいアプリケーションで優れた性能と最大限の信頼性を提供するように設計されています。高精度のエッチングおよびアッシング技術により、高品質の表面仕上げが保証されます。また、自動化されたスループットとエッチングおよびアッシャーパラメータの厳格な制御により、生産歩留まりを向上させることができます。8555はまた、当社のグローバルサービスとサポートネットワークに支えられており、迅速なインストールとセットアップからシステムの長期メンテナンスまで、すべてをお客様に保証します。
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