中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDD #9117097 を販売中
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販売された
ID: 9117097
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
System, 8"
Process type: Oxide
Wafer type: Notch
(3) Chambers
Chamber type: DRM
Main body type: SMIF
Interface type: SMIF
Robot fork type: Ceramic coating
Wafer clamp type: ESC
ESC Type: Ceramic
No EPD
ECC Rack: V-2
Monitor: Front
Signal tower: (4) Colors
Automation online: GEM
Area sensor type: Individual (2) area sensors
Includes:
Vacuum / RF Controller module
AC Power distribution: TEL (UM 4PC)
No Y2O3 Process kit
Transfer chamber:
C/C1 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C1 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
C/C2 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C2 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
T/C Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Transfer robot YASKAWA XU-RVM3800
Wafer alignment YASKAWA XU-AVP3700
C/C1 Controller YASKAWA XU-BDB14011
C/C2 Controller YASKAWA XU-BDB14012
Transfer interface box YASKAWA XU-BCB1600
Gate valve type VAT ROLLCAM
Process chambers (1,2,3):
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
CM1 250 mTorr MKS 627A-13614-S
CM2 10 Torr MKS 627A-14583
PCV Unit center 100 Torr MKS 640A-22936
PCV Unit edge 100 Torr MKS 649A-22016
APC V/V VAT 65044-PH52-0004
APC Con't VAT PB6 (in P/C Control Rack)
Turbo pump SEIKO SEIKI STP-A803C
Turbo con't SEIKO SEIKI STP-A803C
Pressure switch#1 MKS 51A52TGA2BA500
Pressure switch#2 MKS 51A31TGA2BA010
Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Ion gauge LEYBOLD 1TR100-T
RF Generator (Bottom): ENI GHW-25
RF Matcher (Bottom): ENI MWD-25LD
DC P/S: TEL
HV-DC P/S: TEL
Lift pin type: TEL Stepping motor drive
GAP Type: Pancake air cylinder
Process chamber 2:
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
Electrical configuration:
ECC:
Slot#0 TEB408-11 HDMC
Slot#1 SVA011
Slot#2 SVA011
Slot#3 TEB107_ECS5
Slot#4 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#5 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#6 Blank
Slot#7 TEB001-12_GHUB
Slot#8 Print board
Slot#9 Blank
Slot#10 Blank
Slot#11 Blank
Slot#12 TVB0008-2_VMIF
ECC P/S ECC DC Power supply module
HDD#1 TEB407 HDD Base
HDD#2 TEB407 HDD Base
Transfer chamber:
Slot#1 Blank
Slot#2 TYB135 / OPE
Slot#4 TYB134 / ILK
Slot#5 TYB112 / DIO#1
Slot#3 TYB112 / DIO#2
Slot#6 TYB112 / DIO#3
Slot#7 TYB111 / MAIO
Slot#8 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#9 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#10 Blank
Slot#12 YE P/A ( XU-SVA0100C)
T/C P/S T/C DC Power supply
Process chambers (1,2,3):
Slot#1 APC / PB-6
Slot#2 Blank
Slot#3 TYB112 / DIO
Slot#4 TYB111 / MAIO
Slot#5 Blank
Slot#6 TYB121 / COM#1
Slot#7 TEMP / REX-B860-CS2
Does not include:
Pumps
Chillers
SMIF Loaders: LPT2200
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 8555 DDDはエッチャーまたはアッシャーとしても知られ、エレクトロニクス業界の専門家が多種多様なタスクに使用する専門ツールです。基板の表面に様々な材料を正確に堆積させるように設計されています。その能力は、エッチング、堆積、リソグラフィ、アセンブリなど、さまざまなプロセスにとって貴重なツールとなります。この装置は、ステンレス製のチャンバー、基板の位置決めと搬送用のターンテーブル、マスフローコントローラ、ガスマニホールド、加熱システムで構成されています。技術仕様については、Unity ME 8555は基板ホルダーが400x400mmのワーキングエリアを誇っています。また、厚さ0。5mmまでのエッチング基板も可能です。これにより、銅、シリコン、アルミ、ステンレスなど様々な素材の基板をエッチングすることができます。このデバイスは、堅牢なグラフィカルユーザーインターフェイスのため、非常に使いやすいです。それは容易に材料の条件によって望ましい結果をもたらすようにプログラムすることができます。このデバイスは、ユーザーが無制限の数のエッチングレシピを保存できる組み込みの自動レシピ機能と統合されています。さらに、エッチングの進行状況をビデオで監視できるカメラが内蔵されており、ユーザーがプロセスを管理できるようになっています。エッチャーには、エッチング処理後にデータを表示できるソフトウェアもあります。この統合エッチング解析ソフトウェアには、エッチング速度、線幅測定、フォーカスレベル、表面粗さなど、さまざまなツールが含まれています。これらのデータはすべて、ユーザーがエッチングプロファイルを作成し、所望の結果に従ってプロセスを変更するのに役立ちます。TEL Unity ME 8555 DDDは信じられないほど信頼性と耐久性のあるマシンです。それは介入なしで部品の容易な維持そして取り替えのために設計されています。エッチング材料の種類の複数の容量で、エッチャーは、プロセスやアプリケーションの範囲に適しています。その豊富な機能と機能により、家電製品から自動車開発まで、多くのアプリケーションに最適です。
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