中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 #9286040 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85は、エッチングおよびアッシング処理用に設計された先進的なエッチャー/アッシャー装置です。システムはEvolution Unit-type Eller/Wet Etcher （EUE）です。EUEは両面エッチングおよびアッシングチャンバーであり、独立したエッチング/アッシュ制御と両者のシームレスな遷移によって均一性を提供します。エッチングプロセスは、酸化物除去機能とアンチエッチング機能の両方を利用しており、その両方を正確かつ正確に調整して最適な処理結果を得ることができます。このユニットは、標準および高アスペクト比の両方のウェーハと互換性があり、アッシング用途に75mm-125mmをサポートできます。また、プラズマまたはUVベースのエッチング、およびウェーハサイズ比へのエッチング/アッシュチャンバーの範囲のオプションもあらかじめ設定されています。TEL Unity ME 85は、エッチング機能とアッシング機能に加えて、さまざまな機能を備えており、多くのアプリケーションに最適です。それに便利なロードロックおよびRF、温度、DCのバイアス、自動訂正および機械全体の診断および警報を制御する機能があります。また、エッチング用の12種類の異なるガス、酸化剤と非酸化物の様々な組み合わせについても認定されています。最大4つのガスを同時に監視することができ、センサーと検出器のための調整可能なポートが装備されており、プロセスのスムーズかつ効率的な実行を維持するのに役立ちます。また、このツールは国際的なサービスネットワークによってサポートされているため、コンポーネントのサービスとメンテナンスを迅速かつ便利に行うことができます。東京エレクトロンユニティME-85は、最高レベルの安全性と性能を確保するため、UL/CSA、 CE、 VDE規格にも認定されています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME-85は、さまざまなプロセスに必要な高い精度を提供する信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャー資産です。その洗練された機能、包括的な安全性と性能基準、便利なサービスとメンテナンスプロトコルは、あらゆるエッチングおよびアッシングアプリケーションに最適です。