中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293648350 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85 DRMは、MEMS/NEMSおよび高度なパッケージング用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。これは、MEMSやNEMSデバイスを含むさまざまなマイクロエレクトロニクスデバイスの製造のために異なる厚さの複数のフィルムを堆積することができます。Unity ME 85は、追加の圧力および温度制御、カスタム成膜速度など、特定のお客様の要件に合わせて簡単に変更できるモジュラー機器です。このシステムには、画期的なデジタルガスバイパスユニット、多段式温度制御、および高周波電源が装備されています。これにより、信頼性と再現性に優れた薄膜成膜率と一貫した薄膜特性と表面仕上げを実現します。超低圧力蒸着機能を搭載しているほか、汚染を最小限に抑えた基板加工を可能にする大面積プラズマ表面処理窓を備えています。また、ガス供給マニホールドと電子モジュールを備えており、ガス供給圧力と流量を正確に制御できます。Unity ME 85は、真の4軸モーションコントロールアーキテクチャを備えており、フィルム幅と均一性を精密に制御することで、多層薄膜成膜を容易にします。また、リアルタイム監視モデルは、プロセス条件と製品特性の両方を表示し、オペレータが変化する状況に迅速に対応することができます。Unity ME 85の最も革新的な特徴の1つは、独自の薄膜エッチングモードであり、10nmから1000nmまでの薄膜の厚さを正確に操作できます。この装置の特許取得済みのデュアルプラズマソースシステムは、非常に輪郭のある表面仕上げと、困難な材料にエッチングする際の高いアスペクト比を提供します。このユニットにはフィルムスクラバーマシンも装備されており、エッチング製品が存在する可能性のあるほこり粒子から完全に解放されています。Unity ME 85は、高度なパッケージングアプリケーションに理想的なソリューションであり、幅広い基板および材料にわたって高いスループットとプロセスの再現性を提供します。このツールは、SEMIおよびATRM規格に準拠して設計されており、幅広い薄膜プロセスとの互換性を確保しています。