中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293610374 を販売中

TEL Unity ME 85は、さまざまな基板を持つウェーハを効果的に加工するために設計されたエッチング/アッシュ装置です。これは、市場で最も先進的で信頼性の高いエッチング/アッシュシステムの1つで、最大10インチのウェハサイズの容量を備えています。このシステムには、マルチチャンバーおよびマルチゾーン金属酸化物半導体（MOS）エッチャー/アッシャーが装備されており、他のタイプのシステムでは実現できないレベルの制御が可能です。また、エッチング/灰プロセスを正確に制御し、迅速かつ均一なウェーハ処理を可能にする高度な拡散および蒸着チャンバを備えています。また、自動ウェーハローダーを搭載した「TOKYO ELECTRON UNITY ME 85」は、機械の迅速かつ効率的な積み下ろしを可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85は、高度なプラズマインピーダンス制御（PIC）ツールを使用して、プラズマをより正確に制御し、均一なエッチング/アッシュ処理を実現します。さらに、ウェーハ温度変化を最小限に抑える冷却モデルを強化し、精密かつ再現性の高いプロセスを実現しています。このエッチ/灰の装置はまた特定の条件のためのプロセスをすぐにカスタマイズするためにPC GUIの構成可能な調理法を提供し、正確な温度調整および一貫性を保障するためにマルチチャンネルの熱限界システムを特色にします。TEL Unity ME 85は、エッチング/アッシュプロセスの精密な制御と精度に加え、高いスループットレートを備えており、1分間に最大5枚のウェーハを処理できます。このユニットは、最大スループットと生産性のためのサイクル時間を短縮するため、大量のエッチング/灰アプリケーションに最適です。TOKYO ELECTRON Unity ME 85は、精密な制御、均一な処理、高スループットを兼ね備えた先進的なエッチング/アッシュマシンで、特に迅速で均一なエッチング/アッシュ処理を必要とするあらゆる半導体アプリケーションにとって魅力的なツールです。